**电子工程设计院秦学礼摘要随着IC生产工艺技术的不断发展,对于无尘车间生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格,本文81"、12",IC生产的无尘车间设计中有关无尘车间形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施,悬浮分子污染物(AMC)的控制,以及无尘车间排*等方面的设计方案,进行了多方案的综合分析和评价。0引言集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品，它几乎存在于所有工业部门，对国民经济的发展起着“倍增器”的作用，因此被****作为战略性产业。同时IC产业也是当今世界上发展**为迅速、竞争**为激烈的产业。由于下游产品的需要以及生产成本的考虑，IC不断朝着特征尺寸缩小，硅片直径增大的方向发展。目前**上以8”、**的工艺已进入大生产，以12”、**的工艺也开始进入大生产，研究工作已进入纳米阶段，70纳米、40纳米的器件已在实验室中制备成功。随着工艺牛产技术的不断发展，IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格，说到环境首当其冲的是无尘车间，8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。进入无尘车间的人员需穿防静电无尘服，且全程禁止触摸面部，避免产生微尘污染。江苏制造无尘车间方案
在下夹层或上静压箱内设干表冷器。无尘车间内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。新风处理及相对湿度保证新风处理机组的功能段如图9所示，新风处理机组中设置初、中、**三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设**过滤器很有必要，可以延长无尘车间顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要是去除室外空气中对IC生产有影响的杂质气体，根据工厂所在地的室外空气品质设置相应的化学过滤器，化学过滤器后通常需设中效过滤器以去除化学过滤器本身的产尘；通过设在新风处理机组内的两级表冷、两级加热以及洁净蒸汽加湿器保证新风处理机组出口的干球温度及**温度全年基本恒定，而机组出口的**温度还应根据其对应送风区域内的相对湿度进行连续的重新整定，以保证室内的相对湿度。这里不以房间内的相对湿度直接控制加湿器或表冷器，而以房间内的相对湿度连续的重新整定机组出口的**温度，再由该**温度控制加湿器或表冷器是为了得到更及时的湿度控制：由于外网蒸汽中含有对IC生产有影响的杂质，新风处理机组的加湿应采用洁净蒸汽。洁净蒸汽加湿器通常设在表冷器前，这样可以使新风处理机组确提高相对湿度控制精度的潜能。有些工程中是以喷淋初级纯水。江苏制造无尘车间方案无尘车间内禁止使用普通纸笔，需用无尘文具，防止纤维、粉末污染。
环境监控与维护温湿度控制：精密空调系统维持恒定温湿度，防止微生物滋生或静电产生。微生物检测：在生物医药等领域定期检测，确保无菌环境。实时监测：通过粒子计数器监控空气质量，超标时立即处理。五、设计与施工细节建筑结构：采用彩钢板隔断、防尘吊顶，集成过滤器、净化灯等设备。地面工程：选用防静电、耐腐蚀的地坪漆。节能优化：选择低耗能空调系统，平衡洁净需求与能源消耗。辅助设施：安装内部通讯设备减少人员流动，配备消防系统保障安全。结语无尘车间的无尘环境依赖于“技术+管理”的双重保障：从空气过滤、人员规范到物料管控和环境监测，每一环节均需严格执行。只有通过科学设计和持续运维，才能实现真正意义上的“无尘”，满足高精尖产业的生产需求。
洁净密闭门分铝合金门和彩钢板门两中。门扇轻，钢性好，密闭性能佳，产品整体性能好，表面平整，光滑，耐腐，不易积尘，外型美观高雅，启闭灵活，经久耐用，具有隔音，保温，防火等优点。具体规格可以根据用户的要求设计，制造。洁净密闭窗可根据用户的设计要求，采用R60或R44系列型材，制作成圆弧边框或三角边框。洁净密闭灯分为普通型和应急型两种。通常采用双管形式。其中应急型在正常情况下也可以当普通型使用，在厂房突然断电的情况下，其可保持继续照明，并且不需要单独供电系统。在用材上，洁净密闭等有不锈钢和烤漆型两种，面罩有透明和不透明之分。无尘车间的基本原理 室外新风经过初效、中效、高效过滤器过滤后送入洁净室。
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所以采用何种送风系统其能耗也是必须考虑的因素。大型轴流风机的全压效率理想上可达80%，电机效率一般可达90%，则用电效率是两者的乘积72%，如果考虑消音器对风压造成的损失，使风机全压效率降至70%，则用电效率也随之降到63%（假设电机效率不变）；8”、12”IC厂房无尘车间中的FFU通常采用直流无刷电机，效率也可达到90%[2]，通常用电效率在50%左右。所以在**佳的运行状态下，大型轴流风机的单机用电效率高于小型FFU应该是没有什么疑问的。但实际工程情况又怎样呢？由于直流无刷电机可以在相当大的运行范围里保持**率出力，而大型轴流风机在变频运转后电机效率会急剧下降，但洁净系统中HEPA/ULPA的阻力是不断变化的，且初、终阻力相差较大，所以在相当长的时间内风机是在非设计状态运行，从这方面考虑FFU系统又会具有一定优势。所以对集中送风系统和FFU系统的能源效率比较，很难做出明确的结论，应视具体工程项目的产品生产情况、净化空调系统及其设备配置情况等确定。2空气处理及温湿度保证8”、12”IC生产由于其工艺加工线宽极小，所以对温湿度的精度要求很高，通常温度精度为±～±℃，相对湿度精度为±2%～±3%。该类厂房无尘车间一般采用新风集中处理加FFU系统。江苏制造无尘车间方案
