实验室特气管道安装解决方案

特种气体管道安装要求说明：1）不锈钢，合金钢螺栓和螺母；2）管道设计温度高于50°C或低于0°C;3）室外安装;4）大气腐蚀性环境中或输送腐蚀性介质的管道。合金钢管道不应焊接临时支撑物。如有必要，请遵守相关的焊接规定。安装不锈钢管时，请勿用铁工具敲打。对于法兰上使用的非金属垫片，氯离子含量不得超过50ppm；对于连接到机器的管道，固定焊缝应远离机器。当>6000r/min时，位移值应小于0.02mm，速度应小于6000r/min，位移值应小于0.05mm。管道，法兰和机器法兰应保持平行和同轴，允许偏差不得超过设计文件或规定的要求。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。实验室特气管道安装解决方案

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。浙江大口径特气管道安装行价特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序。

气体房的选择和设计，除了简单的供气系统以外，特气房一般都单独于主场房而单独建设，其规划时需考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物的总量控制等。常规供气系统一般也采用多种气瓶柜共设在一个气体室；而对于大宗特气，会根据气体特性和相容性将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、毒性气体房等。气体房必须有良好的通风，气体房的选择和设计一般由设计院完成。GMS和GDS系统，气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。然后、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可明显降低整个系统的成本。

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道安装时，根据不同的管径和要求设置管卡或吊架，要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架的制作安装要采用机械切割和台钻钻孔，严禁气割。3、所有支吊架安装前必须做除锈，做涂刷两遍防锈漆的防腐处理；支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。4、特气管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，若设计无要求时，按照规范要求设置。7、管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20m。8、管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。金华室外特气管道安装

管道焊接，自动焊接试样制作 根据焊接工艺评定和焊接工艺规程，严格焊接操作。实验室特气管道安装解决方案

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。实验室特气管道安装解决方案