陶瓷真空吸盘特性:陶瓷区域内吸附:同一陶瓷面积上,可放置大小不等的工件做吸附功能。高耐热性:因是高温烧结而成的物质,本身具有耐高温的特性。耐化学腐蚀性:惰性材料,对酸碱等反学反应弱。耐磨损性:具有陶瓷坚硬的特性,耐损耗,可长期使用。轻量:内部结构均匀气孔,比重系数为1.6-2.8。绝缘性能高:绝缘材质,消散静电特性。无粉尘:完全烧结,无粉尘。应用领域: 吸取平面工件专属陶瓷真空吸盘模组;吸附达一半面积就不会破真空状况,达到同一模组可吸取各式工件;适用于机台制作或工厂生产、组装或自动化企业的干净环保。陶瓷吸盘的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。天津陶瓷吸盘哪里买
想要加工出质量好的陶瓷吸盘,需要精湛的加工工艺,加工工艺是保证陶瓷吸盘质量的前提,无论有再好的设备,用的方法不对都是在白费功夫。平常用的加工金属的刀具是无法有效的对氧化锆陶瓷进行加工的,一般CNC加工比较常用的刀具是钨钢刀,这种刀具的材料硬度远远比不上氧化锆陶瓷,加工氧化锆陶瓷需要用带有金刚石砂砾的研磨刀具,进行磨削加工,所用的CNC机床应该也是用陶瓷专业CNC,这类机床的防护效果好,刚性强,可以在保护机床的同时保证其加工精度,当精湛的加工工艺配上好的设备时,加工出来的陶瓷吸盘的质量无疑是很高的。苏州氧化铝陶瓷吸盘供应费用陶瓷吸盘与其它过烤材科相比,微孔陶瓷吸盘的孔隙率很高。
传统的陶瓷吸盘都是一体式结构,直接安装在工作台上。在晶片磨削过程中,往往伴随着大量颗粒和污水,并且会进入吸盘和工作台之间,造成精度误差;在晶圆抛光和清洗过程中,抛光液和水雾进入工作台,还会引起设备的腐蚀生锈;在晶片的加工中,由于碎片导致工作台堵塞会影响设备运转,极大地降低了生产效率。然而,当发生以上设备常见问题时,传统的一体式真空吸盘,拆卸清理维修时又必须将整个吸盘,以及连接在吸盘上的各种真空接头,管路一起拆卸,极为不便。并且由于一体式的结构,防水布置困难,易发生工作台系统腐蚀生锈,也难以局部更换。
多孔陶瓷真空吸盘的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内,通过微小的气孔把空气吸出,便加工物紧贴在陶瓷面上,能够减少吸附面对高精度材料的应力磨损,其稳定均匀的吸附力适合固定很薄的加工物,如晶圆片、玻璃和柔性屏等;传统的孔陶瓷真空吸盘不能根据吸附物的直径大小进行更换合适的孔陶瓷真空吸盘,吸附不够稳定,吸附物容易掉落损坏,增加生产成本,因此,本实用新型提出一种多孔陶瓷真空吸盘以解决现有技术中存在的问题。多孔陶瓷真空吸盘通过安装机构,安装机构具有更换陶瓷吸盘的功能,使用者可以根据吸附物的直径大小进行更换合适的陶瓷吸盘,提高了吸附的稳定性,防止吸附物掉落损坏,降低了生产成本。陶瓷吸盘的优点:防止吸收轨迹。
在更换陶瓷吸盘时,橡胶软管堵头产生褶皱。在酸性环境中,软管老化后产生真空漏点,应采用不锈钢喉箍扎紧漏真空的软管。橡胶软管出现漏真空后,虽不会立刻影响石膏的吸附和产量,但长期漏真空会将含大颗粒的石膏浆液残留在真空管和陶瓷吸盘中,无法将其清洗干净,缩短了陶瓷吸盘的使用寿命。巡检人员发现橡胶软管漏真空时,应及时处理真空漏点,以减少缩短陶瓷吸盘使用寿命的因素。一旦陶瓷吸盘损坏,需立即停运脱水机,及时更换陶瓷吸盘,并转入了联合清洗程序。在联合清洗前,先注满清水,启动真空泵,利用清水冲洗真空管中残留的石膏浆液,这将有利于延长其他陶瓷吸盘的寿命。陶瓷吸盘的透气性好,吸附力均匀。西安多孔陶瓷吸盘规格
陶瓷吸盘加工时表面不能有裂纹。天津陶瓷吸盘哪里买
在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。天津陶瓷吸盘哪里买
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