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3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距较远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。测量原理：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以dada提高测量的准确率。3D玻璃测量解决方案。上海解决方案按需定制

三坐标测量仪机型介绍

结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构.

传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm

测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针机 台：高精度（00级）

花岗岩平台使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

空气流量：25 L/min

长度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)

探测球精度MPEp： ≤2.1μm 测量解决方案定义晶圆测厚仪所运用的解决方案。

磁场

磁场方向有规定，磁针静止北极指。

磁体外部磁感线，北极(N)出发回南极(S)。

地球周围地磁场，沈括发现磁偏角。

电生磁

电流周围有磁场，证明丹麦奥斯特。

通电螺管磁极判，安培定则伸右手。

四指沿着电流走，旋转方向不能反。

大拇所指为N极，掌切所标为S.

电磁铁

螺管磁性强弱定，电流匝数插铁芯。

带有铁芯螺线管，通常叫做电磁铁。

开关控制磁有无，电流控制磁强弱。

电动机

通电线圈磁场中，受力作用会转动。

定子不动转子转，持续转动换向器。

控制方便效率高，电能转化机械能。

日常保养改变管理方式防止”假期综合症”三坐标测量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机系统组成。平时我们在使用三坐标测量机测量工件的同时，也要注意机器的保养，以延长机器的使用寿命。下面我们从三个方面说明三坐标测量机的基本保养。机械部件三坐标测量机的机械部件有多种，我们需要日常保养的是传动系统和气路系统的部件，保养的频率应该根据测量机所处的环境决定。一般在环境比较好的精测间中的测量机，我们推荐每三个月进行一次常规保养，而如果用户的使用环境中灰尘比较多，测量间的温度湿度不能完全满足测量机使用环境要求，那应该每月进行一次常规保养，对测量机的常规保养，应了解影响测量机的因素理性的分析，尽可能掌握问题的实质，把握到每个细节要素。

测量方法平面度误差测量的常用方法有如下几种：1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。解决方案营销的需求分析。北京解决方案分类

没有完美的，一定能解决问题的长久解决方案。上海解决方案按需定制

5.边界扫描(PerimeterScan)边界扫描方式只适用于有CAD曲面模型的工件。该扫描方式采用CAD数学模型计算扫描路径，该路径与边界或外轮廓偏置一定距离(由用户选定)。创建边界扫描时，首先选定“边界扫描”选项；若为内边界扫描，则在对话框中选择“内边界扫描”；选择工作曲面时，启动“选择”复选框，每选一个曲面则加亮一个，选定所有期望曲面后，退出复选框；点击表面确定扫描起始点；在同一表面上点击确定扫描方向点；点击表面确定扫描终止点，若不给出终止点，则起始点即为终止点；在“扫描构造”编辑框内输入相应值(包括“增值”、“CAD公差”等)；选择“计算边界”选项，计算扫描边界；确认偏差值正确后，按“产生测点”按钮，PCDMIS程序将自动计算执行扫描的理论值；点击“创建”。上海解决方案按需定制