企业商机
减薄用清洗剂基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机碱
  • 产品性状
  • 液态
减薄用清洗剂企业商机

    产生不良次品;同时由于所述侧支撑件44的移动,可带动玻璃在所述玻璃加工治具4上的摆动,从而实现玻璃与喷淋液的充分均匀接触。较佳的,所述底座41和实施支撑架42上均设置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述喷淋液流至所述收集槽内。实施例四所述支撑架42包括对应设置的架体和第二架体,所述架体和所述第二架体均固定设置在所述底座41上,所述架体包括平行对应设置的两竖直平板421,所述第二架体为与所述竖直平板421连接的对应两侧板422,所述架体和所述第二架体形成盛放部,玻璃设置在所述盛放部内;所述侧板422和所述竖直平板421可均固定设置于所述底座41上,也可相互固定连接形成稳定的矩形框架。所述架体和所述第二架体均设置有若干所述侧支撑件44,且所述侧支撑件44对应所述底支撑件43设置。较佳的,所述架体上固定设置有若干固定孔,所述侧支撑件44可根据玻璃的具体尺寸在相应所述固定孔上固定设置;所述第二架体上设置有调节槽,对应所述调节槽还设置有固定板423,所述固定板423的两端分别设置在对应两所述侧板422的所述调节槽上,并可在所述调节槽内调节移动,从而可使所述玻璃加工治具4适用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。质量比较好的减薄用清洗剂的公司。南通哪家减薄用清洗剂订做价格

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    降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定,因此,对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后,还包括:对待加工部件进行清洗;采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀,以将待加工部件与托盘分离。具体地,在完成抛光和减薄后,可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗,用di水冲洗干净,40℃的氮气吹干。之后,将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盘10自动分离,取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法,还包括:在磁转子运行一段时间后,更换磁转子。如磁转子12工作1小时后,可以将磁转子12更换为新的磁转子,以使磁转子与待加工表面贴合紧密,避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言,由于其与实施例公开的方法相对应,所以描述的比较简单,相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。深圳哪家减薄用清洗剂批量定制选择专业减薄用清洗剂,为您的产品质量保驾护航。

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    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图;图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图;图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图;图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图;图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想,为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置,用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄,如图1所示,包括托盘10、喷头11和磁转子12,当然,本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等,托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中,托盘10,可选为石英托盘,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110,以对待加工表面进行抛光。

    图2为所述蚀刻区的结构示意图;图3为所述玻璃加工治具的种结构正视图;图4为所述玻璃加工治具的第二种结构正视图;图5为图3中的局部放大图;图6为所述玻璃加工治具的结构俯视图;图7为所述底支撑件的结构正视图;图8为所述底支撑件的结构侧视图。图中数字表示:1-转换区;2-冲洗区;3-蚀刻区;4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度测量仪;33-喷淋组件;41-底座;42-支撑架;43-底支撑件;44-侧支撑件;421-竖直平板;422-侧板;423-固定板;424-水平槽;425-竖直槽;426-固定槽;427-固定卡块;428-定位槽;429-定位孔;431-支撑条;432-第二支撑条;433-连接部;434-接触部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位块;439-第二限位块。具体实施方式以下结合附图,对本发明上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。实施例一如图1所示,图1为所述玻璃减薄设备的结构视图;本发明中所述玻璃减薄设备包括转换区1、冲洗区2和蚀刻区3,所述冲洗区2设置于所述转换区1和所述蚀刻区3之间,竖直容纳在玻璃加工治具4中的多个玻璃通过所述转换区1被加载到所述冲洗区2中,在所述冲洗区2中进行减薄前清洁并且在所述蚀刻区3中经历减薄处理。苏州高质量的减薄用清洗剂的公司。

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    较佳的,所述冲洗区包括冲洗区、第二冲洗区和第三冲洗区,所述第二冲洗区设置于所述冲洗区和所述第三冲洗区之间,所述冲洗区设置于所述第二冲洗区和所述转换区之间,所述第三冲洗区设置于所述第二冲洗区和所述蚀刻区之间。较佳的,所述冲洗区设置有辅助厚度测量仪。较佳的,所述第三冲洗区设置有第二辅助厚度测量仪。较佳的,所述转换区设置为可升降的折叠式结构。较佳的,所述转换区设置有装卸臂。与现有技术比较本发明的有益效果在于:1,本发明中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃加工治具中的玻璃进行减薄处理,可实现单次多片玻璃减薄,同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题;2,本发明中所述玻璃加工治具在减薄处理时进行往复移动使侧支撑件与玻璃之间接触点产生变化,从而避免所述侧支撑件与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋而产生的不良次品问题;3,本发明通过所述侧支撑件的固定结构,可实现所述侧支撑件的位置调节,从而使玻璃加工治具适用于不同尺寸的玻璃并可将不同尺寸的玻璃同时设置于玻璃加工治具上同时进行减薄处理。附图说明图1为所述玻璃减薄设备的结构示意图。减薄用清洗剂的的参考价格大概是多少?宁波市面上哪家减薄用清洗剂替代

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    经减薄处理后的玻璃可再次进入所述冲洗区2以经历减薄后清洁并且通过所述转换区1被卸载到外部;所述玻璃减薄设备还设置有制动组件,通过所述制动组件实现所述玻璃加工治具4从所述转换区1经所述冲洗区2向所述蚀刻区3的减薄前移动,以及从所述蚀刻区3经所述冲洗区2向所述转换区1的减薄后移动。在本实施例中,图1内并排设置有2个所述玻璃减薄设备,所述冲洗区2包括冲洗区2、第二冲洗区2和第三冲洗区2,所述第二冲洗区2设置于所述冲洗区2和所述第三冲洗区2之间,所述冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述转换区1之间,所述第三冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述蚀刻区3之间。所述转换区1可升降的折叠式结构,从而便于所述玻璃加工治具4在所述转换区1的放置或卸下。较佳的,所述转换区1还设置有装卸臂,通过所述装卸臂可实现对所述玻璃加工治具4的上下料,以及单片玻璃的拿取检测。实施例二如图2所示,图2为所述蚀刻区的结构示意图;所述蚀刻区3包括腔室31、主厚度测量仪32、喷淋组件33和控制器;所述喷淋组件33在所述腔室31中对设置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加减薄处理,所述主厚度测量仪32实时测量在所述腔室31内经历减薄处理的玻璃厚度。南通哪家减薄用清洗剂订做价格

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