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    并控制磁转子12和喷头11每间隔20s旋转10s，也就是说，控制磁转子旋转10s，控制磁转子停止旋转后，控制喷头喷涂抛光液10s，停止喷涂抛光液10s后，控制磁转子旋转10s，以此类推。本发明实施例中，控制部件在脉冲工作模式下，实现减薄和抛光两种工艺交替作用，使得减薄和抛光一体化完成，整个过程稳定，速度快，控制性好，重复度高，无粉尘污染，衬底减薄终厚度达到20μm，抛光面ra＜2nm。还需要说明的是，本发明实施例中，在减薄的过程中，可以不断更换磁转子12，如磁转子12工作1小时后，将磁转子12更换为新的磁转子，以使磁转子与待加工表面贴合紧密，避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。此外，本发明实施例中，在完成抛光和减薄后，可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗，用di水冲洗干净，40℃的氮气吹干。之后，将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盘10自动分离，取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例还提供了一种抛光减薄方法，如图5所示，包括：s101：将待加工部件固定在托盘上，待加工部件包括inp基晶圆；可选地。

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    减薄用清洗剂的作用原理：溶解作用：清洗剂中的化学成分与被清洗物质发生化学反应，将其溶解在清洗剂中。例如，酸性清洗剂可以与金属氧化物反应，生成可溶性的盐类，从而去除氧化层。有机溶剂清洗剂则通过溶解有机物质，使其从被清洗材料表面脱离。乳化作用：对于含有油脂等物质的清洗对象，清洗剂可以使油脂乳化，形成微小的颗粒分散在清洗液中，从而被清洗掉。分散作用：清洗剂能够将固体颗粒分散在清洗液中，防止它们重新沉积在被清洗材料表面。例如，在一些金属材料的减薄过程中，清洗剂可以分散去除下来的金属颗粒，避免它们对材料表面造成二次污染。 广州中芯国际用减薄用清洗剂替代