上海工业级BOE蚀刻液按需定制

    所述的磷酸浓度为82-87％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，醇醚类的含量为％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，表面活性剂的含量为％。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液，所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种；表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地，在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时，蚀刻温度为152-165℃，蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂，改善了磷酸的浸润性和表面张力，明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性，本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后，先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力；然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片，采用超纯水清洗和氮气吹干后，使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前，使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。苏州博洋化学股份有限公司拥有专业的BOE蚀刻液以及各种蚀刻液。上海工业级BOE蚀刻液按需定制

    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氢呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先，用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重，其构成皮重。然后，在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重，并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来，将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟，不进行搅拌且无超声。该片材一移出，就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry)，并且，在该15分钟结束时，通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比，计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下，得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。上海技术密集BOE蚀刻液供应商苏州博洋化学股份有限公司欢迎新老朋友咨询。

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