湖北蓄热式焚烧炉设备

半导体行业的VOCs废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等。在这些工艺中要用有机溶液(如异丙醇)清洗晶片表面，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时，光刻和蚀刻中使用的光刻胶(光致抗蚀剂)含有挥发性有机溶剂，如醋酸丁酯，在晶片加工过程中也会挥发到大气中，是有机废气的另一个来源。 半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中，这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前，吸附、焚烧或两种方法的组合通常用于这种气体排放。一般用沸石轮吸附，蓄热式焚烧炉焚烧。 焚烧也应用于半导体工业，处理各种有机废气，并通过热氧化将有机物质转化为CO2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法，有稳定的流量和浓度。在热氧化中，有机废气流被加热，气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用，通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量，以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。因为半导体行业废气焚烧会产生SiO2，使催化剂钝化，所以接触氧化很少用于半导体行业。各部位均设置检修门便于检修。湖北蓄热式焚烧炉设备

“VOCs处理项目的处理能力应根据VOCs处理能力确定，设计风量应按废气排放量的105~120%以上设计”；一般来说会设置储备系数，根据实际工况在1.1-1.2之间。 “两室蓄热式焚烧炉的净化效率不应低于95%，多室或回转蓄热式燃烧装置的净化效率不应低于98%。”目前的现状是三室RTO设备需求量较大。如果业主在合同中对净化效率有要求，如果有更高的要求，比如99%，就要慎重承诺。 “蓄热式焚烧装置的热回收效率”，很多人会在热回收效率的计算上犯错误。热回收效率的基本定义是蓄热式焚烧装置中预热废气的实际利用热量与可用热量的比值，即：燃烧室温度-蓄热装置出口排气温度/燃烧室温度-蓄热装置入口的排气温度。 应按要求设置自动报警和保护装置。比如前段时间分享的文章都提到了以下几个部分：精细化工RTO系统的主体设计要特别注意这五点；化学VOCs焚烧RTO系统调试中应注意的问题。河北精细化工蓄热式焚烧炉RTORTO的维护耗材非常少，5年内几乎不需要耗材。

根据生产装置的运行特点和企业的生产负荷，确定相同的有组织废气排放开口率，并进一步合理降低设计风量，以尽量减少蓄热式焚烧炉的投资金额。在满足设计风量的基础上，RTO尽量做小，可以降低运行成本。 这是因为对于一定质量的进口VOCs的废气，根据=m/v，RTO中进口VOCs的浓度，M是RTO中进口VOCs的质量，V是指RTO中进口VOCs的体积(处理空气量)。当m一定时，v越大，对应的有机物浓度会越低，这种质量的VOCs氧化释放的热量需要在更大的空间内维持热平衡(达到氧化室要求的氧化温度)。 此时如果RTO处理风量的设计较小，可以提供VOCs的浓度，VOCs热氧化释放的热量可以维持热平衡，从而减少助燃原料的使用，从而降低这种状态下的运行成本!

涂装过程中产生的挥发性有机化合物(VOC)主要有甲苯、二甲苯、三甲苯等。涂装车间产生的有机废气主要来源于喷漆室、挥发室和干燥室。干燥室排出的烟气具有风量小、浓度高的特点，可采用蓄热式焚烧炉直接处理。在高温下，挥发性有机物被氧化分解，产生的热量作为烘房的热源。净化后的空气可以达到国家和地方的排放标准。喷漆室废气具有风量大、浓度低的特点，废气中含有颗粒状漆雾，粘度大、湿度大。所以需要用漆雾过滤废气，然后进入沸石轮，将过滤后的废气浓缩。浓缩后成为高浓度低风量气体，再进入旋转RTO氧化处理。还能使喷漆废气和烘干废气共同参与吸附和浓缩。喷漆废气与高温干燥废气混合后，由于温度升高，相对湿度降低，节省了除湿的设备投资和运行费用，，减少了进入RTO的废气量。宁新环保成立于2011年，几乎是国内较早的蓄热式焚烧炉生产厂家。

近年来，由于环境问题突出，各地、各企业都在不断加大对环境治理的投入，大部分企业通过安装末端处理设施实现了达标排放。目前常见的VOCs终端处理工艺有蓄热式焚烧炉(RTO)、催化燃烧(RCO)、直接燃烧(TO)、活性炭吸附解吸、低温等离子体等。VOCs废气成分复杂，通常是多种易燃易爆的混合有机气体。如果前期技术工艺选择不到位或者这些设备没有经过专业的管控就投入使用往往会带来新的安全隐患。比如RTO设备爆燃。因此如宁新环保一样可靠的厂家是非常重要的。我公司合作过许多用户，如SK、京东方、日本大金、川崎、华星光电等。三塔蓄热式焚烧炉厂家

蓄热式焚烧炉适用于绝大部分有机废气处理工况。湖北蓄热式焚烧炉设备

蓄热式焚烧炉的陶瓷纤维内衬采用1260陶瓷纤维模块和1260陶瓷纤维毯对陶瓷蓄热室和燃烧室进行隔热。陶瓷纤维折叠模块的排列是“并排”的，即沿着模块的压缩尺寸排列。在纤维模块之间对折一层20mm厚的陶瓷纤维毯并压紧，在纤维模块中插入U型钉，间距500~700mm用来固定，以补偿纤维非膨胀面可能的收缩。这种结构可以避免“拼花地板”排列方式中因边角膨胀不均匀导致的纤维模块“花心”现象，达到良好的保温隔热效果。在安装炉顶衬里层的过程中，使用快速卡与模块配合，用螺栓临时固定。在RTO炉陶瓷纤维内衬的热面上陶瓷纤维模块表面涂两遍固化剂，既能抵抗水蒸气，又能抵抗高风速下的烟气冲刷从而延长保温内衬的使用寿命。湖北蓄热式焚烧炉设备