徐汇微球晶圆植球机

自动晶圆植球设备包括底部架台，在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、 晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。本技术采用CCD自动对位，保证了对位的准确性和快速性，可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆，对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。BGA植球机可实现批量BGA芯片植球加工，速度是手工植球的数倍。徐汇微球晶圆植球机

晶圆植球机，晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术，研究了WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。本文针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式，研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术，并在自主研制的半自动晶圆级微球，植球机进行植球实验，晶圆尺寸12inch，焊锡球直径250um， 晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。工作环境湿度：30~60％ ；机器重量：200KG 。晶圆植球机可进行球形焊、晶圆植球、芯片植球等、 以及客户化的线弧形状。它适合于许多封装方面和元件的组装，包括复杂的混合电路、MCMs和高可靠性器件。晶圆级微球植球机，经过两年的试用和检验，获得多家半导体封测厂商认可并开始量产。晶圆植球设备售后服务晶圆植球机特别适合微球植球，不伤球模块化结构，可以做成单机，也可以做成连线式机台。

晶圆植球补球一体机BM2000WI的特点是什么样的？1.可以对应硅晶圆，模块晶圆的微锡球植球，检查及修补，可选择离线或在线方式。2.从上料到下料可实现全自动作业。3.各个工序同时作业，作业效率大幅提高。4.根据客户需要，可和其他设备连接组成产线。5.可对应8,12寸的晶圆。6.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆植球机根据图像处理自动定位后，在晶片上印刷助焊剂，对12英寸晶片对应的位置焊锡球。晶片安装，取出手动省空间，低价半自动装置。

晶圆级封装中圆级封装是在完成封装和测试后，才将晶圆按照每一个芯片的大小来进行切割，统一前端和后端工艺以减少工艺步骤，封装后的体积与IC棵芯片尺寸几乎相同，能大幅降低封装后的IC尺寸，是真正意义上的芯片尺寸封装。一片12inch的晶圆上一般有750~1500个裸片，与单个芯片封装相比，每个裸片的封装成本可以降低一个数量级。晶圆级芯片封装工艺流程"。晶圆植球机设备结构简易，易操作维护。晶圆在前道刻好回路后，需要在各个芯片凸点上布上锡球，以达成电路的一个连通。目前主流以8寸，12寸晶圆为主，每片晶圆上有分布上千个芯片，每片芯片的凸点从几百到几千不等，需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。BGA植球机的植球范围是比较广的。

BGA植球机的植球方法介绍，锡膏”+“锡球”法具体的操作步骤如下：1.先准备好植球的工具，植球座要用酒精清洁并烘干，以免锡球滚动不顺；2.把预先整理好的芯片在植球座上做好定位；3.把锡膏自然解冻并绞拌均匀，并均匀上到刮片上；4.往定位基座上套上锡膏印刷框印刷锡膏，手印的话要尽量控制好手刮膏时的角度，力度及拉动的速度，完成后轻轻脱开锡膏框5.确认BGA上的每个焊盘都均匀印有锡膏后，再把锡球框套上定位，然后放入锡球，摇动植球座，让锡球滚动入网孔，确认每个网孔都有一个锡球后就可收好锡球并脱板；6.把钢植好球的BGA从基座上取出待烤。这样就完成植球了。晶圆植球机设备性能较好，得到许多同行的高度认可。微球植球机生产厂家

晶圆植球机合格率98.5%以上，经过设备升级，可加工更小型的1毫米系列产品。徐汇微球晶圆植球机

全自动植球机，包括工作台、设置在工作台上的输送链、锡球存储盘、 将助焊膏滴加在待加工基板上的助焊膏滴加装置和将锡球置于待加工基板上的锡球放置装置。本实用新型技术的全自动植球机通过点胶模具上的多个助焊膏注射管将助焊膏直接注射入待加工基板的安装孔穴内，通过植球模具上的多个吸球真空管将锡球置放到待加工基板的安装孔穴内，不但一次点胶和置放多个待加工基板，而且定位精度高， 节约原料，降低生产成本；整个动力源由ＰＬＣ控制器控制，自动化程度更高，操作更方便。晶圆级微球植球机,成功研制和量产解决了国内半导体封测企业对国外晶圆级微球植球机的长期依赖问题,标志着我国在半导体晶圆级芯片封装装备领域取得重大突破,填补了国内空白。徐汇微球晶圆植球机

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