工业晶圆植球设备

晶圆植球机的尺寸：850(W)x1100(D)x1750(H)mm二、WLCSP植球机TBM-10001）功能自动晶圆植球：自动对位，自动印刷和自动植球采用钢网印刷方式印刷助焊剂和锡球2）特点上下视野镜头自动定位，运动机构采用直线电机和DD马达，提高速度和精度独有的植球机构，特别适合微球植球，不伤球模块化结构，可以做成单机，也可以做成连线式机台；3）参数对应球大小50〜300微米对应产品：6、8、12英寸晶圆植球良率：不良率≤30PPM速度：UPH40（12英寸晶圆、200微米球）对应球50-300微米外形尺寸：3595(W)x1685(D)x1650(H)毫米。晶圆植球机根据客户需要，可选配检查补球机组线生产。工业晶圆植球设备

BGA植球机的植球方法介绍，锡膏”+“锡球”法具体的操作步骤如下：1.先准备好植球的工具，植球座要用酒精清洁并烘干，以免锡球滚动不顺；2.把预先整理好的芯片在植球座上做好定位；3.把锡膏自然解冻并绞拌均匀，并均匀上到刮片上；4.往定位基座上套上锡膏印刷框印刷锡膏，手印的话要尽量控制好手刮膏时的角度，力度及拉动的速度，完成后轻轻脱开锡膏框5.确认BGA上的每个焊盘都均匀印有锡膏后，再把锡球框套上定位，然后放入锡球，摇动植球座，让锡球滚动入网孔，确认每个网孔都有一个锡球后就可收好锡球并脱板；6.把钢植好球的BGA从基座上取出待烤。这样就完成植球了。微球植球机工厂晶圆植球机植球精度大概为0.015mm。

自动晶圆植球设备包括底部架台，在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、 晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。本技术采用CCD自动对位，保证了对位的准确性和快速性，可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆，对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。

晶圆植球机BM1310W设备技术规格参数：晶圆尺寸：8,12寸；锡球球径：￠60～￠300um；较小球间距：90um(球50um）；植球精度：±25um；植球较大不良率：30PPM；操作系统：Windows10；上料，下料：可对应料架及Foup；电压：200V/3相；外观尺寸：3595（W）*1650（D)*1650（H)mm；重量：约2600公斤。晶圆植球机可以对应硅晶圆，模块晶圆的微锡球植球。晶圆植球机设备结构简易，易操作维护。晶圆在前道刻好回路后，需要在各个芯片凸点上布上锡球，以达成电路的一个连通。晶圆植球设备利用独自开发取得的毛刷，高效植球的同时，能延缓锡球的氧化。

业界流行的工艺有丝网印刷法、针转移法、点滴法等。锡球的直径为0.1~lmm,球径越小，植球的难度越大。植球设备由3个主要部分(印刷工程、搭载工程、检查工程)和2个辅助部分(装载器、卸料器)组成。印刷工程是将助焊剂等均匀、精确地印刷在电路基板的电极位置上，以便大幅度提高球的搭载率和回流后的黏附强度。搭载工程是用吸头从供给机中吸起锡球，在锡球不变形的条件下将其整齐排列，然后通过图像处理技术精确定位，将锡球搭载到基板上，较后用CCD系统对已完成植球的基板进行检测。植球机的主要技术指标包括较大植球区域、锡球直径、单次植球数量、单次植球时间、植球精度等。植球机一整套包括植锡和植球两个部分。工业晶圆植球设备

晶圆植球机在使用时机台的放置不宜太挤，以免影响箱内的对流。工业晶圆植球设备

晶圆级微球植球机：晶圆级封装中鉴于电镀方式和印刷锡膏方式的缺点，业界一直在寻找替代解决方案，晶圆级植球技术的突破恰好满足了这一需求，并且随着多层堆叠技术(MCM)的发展，要求晶圆与晶圆间具有高精度的多引脚的10um级的互联，晶圆级植球技术可以稳定地实现。晶圆在前道刻好回路后，需要在各个芯片凸点上布上锡球，以达成电路的一个连通。目前主流以8寸，12寸晶圆为主，每片晶圆上有分布上千个芯片，每片芯片的凸点从几百到几千不等，需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。工业晶圆植球设备

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