在WLP工艺中,晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术,在WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式,研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术,并在自主研制的半自动晶圆级微球,植球机进行植球实验,晶圆尺寸12inch,焊锡球直径250um。晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。我司设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。晶圆植球机植球方式有人工手动植球和自动植球。江苏自动晶圆植球设备销售厂家
晶圆级封装设备通过对植球过程的工艺分析,确定关键技术难点,形成了如下创新点。X-Y-Z-θ 植球平台植球平台是植球机的主要单元,搬运平台可实现,X.Y.Z,θ四个方向心的运动,并结合图像处理技术叫完成晶圆传送、印刷定位和植球定位。由X,Y向直线定位机构,Z向内圈(Table) 和外圈升降机构和0向内圈旋转机构组成。植球平台的运动定位精度决定了印刷和植球成功与否,其位置误差可以通过安装调试尽量减小,由于焊锡球在回流焊接过程中会自动对准,即使焊锡球与焊盘的贴装偏差达焊锡球球径D的50%时也能很好地自动校准,因此定位误差需满足”M“。通过上述分析,根据误差要求合理选择各个方向定位机构所需的精度等级。江苏自动晶圆植球设备销售厂家晶圆植球机采用折叠式刮臂,重力可调,刮刀清洗方便。
晶圆植球机的使用很简单,设备的使用之前需要仔细阅读说明书,根据说明书来进行使用。晶圆植球机:对应晶圆的微植球自动产线系统。可实现上料、刷胶、植球、检查修补和下料全程自动化,大幅提高生产效率。产品说明:1)晶圆尺寸:6/8/12吋;2)球径:50-300um;3)较小球间距:100um(直径50um球);4)上/下料:料盒,FOUP对应。晶圆植球机可实现晶圆从上料到下料的全程自动化生产,各工序同时进行,大幅提高效率;可连接回流炉、清洗机;可对应硅晶圆和定制化晶圆;植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。敝司的设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。
晶圆植球机有什么特点?1.采用了为搭载微球而开发的金属杯方式。2.通过球的回收功能,实现了废球量的大幅度减少。3.实现独特的高精度定位球。4.通过高精度的图像定位机构和晶片厚度检测功能,实现稳定的球搭载。5.切换到正片,每台大圆,每台大圆。6.口罩上没有多余的球,减少了废球的产生。敝司的设备可以在1分钟左右内,同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。晶圆植球机植球过程是,将基板固定在热台上,移动劈刀至凸点上方;
选择bga植球检查修补一体机时的注意事项:1、从机器的操作控制系统来考虑,机器的操作控制系统一般有仪表、触摸屏、电脑控制。仪表的操作太复杂、电脑的价格相对昂贵、触摸屏相对比较实用。2、从BGA芯片尺寸来考虑,选择合适BGA芯片的尺寸的机器,越大越好。3、通过温度精度来选择,众所周知,温度精度是BGA返修设备的中心,行业标准是正负3度。温度差越小越好,可以用炉温测试仪模拟测试。4、可选用上部红外加热的设备,关于这一点推荐,主要是因为BGA种类多,分类也广,应付各种不同BGA,要求方便、精确、效率高的,建议选用上部红外加热的设备。5、通过做板面积来选择,如果做板面积太小,板子无法很好的预热,很容易造成变形、起泡、发黄、断层等问题。所以在选择BGA设备的时候很有必要通过做板面积来选择。BGA植球机配备特制弹力防损芯片刮刀, 适合各种芯片进行加工。上海植球机哪家好
BGA植球机可实现批量BGA芯片植球加工,速度是手工植球的数倍。江苏自动晶圆植球设备销售厂家
BGA芯片全自动植球机,是大批量高精度的芯片植球专门用生产设备,适用于高精密度芯片或主板类植球,也适用于高重复定位型植球加工行业,较与手工植球台,植球机作业具有更快,更精确的特点。植球机与植球台的作用大致相同,多作用于高精密度芯片或主板类植球,车间批量作业。具体步骤:一)、对网(调节钢网)1、放上钢网,先不用固定钢网,2、放上模具3、放上钢网定位销,并把机器打开到对网界面,4、把模具推到工作位,然后进行下一步操作:如是第1次操作,请直接选用左边的上下升降平台,当模具升到一定距离时,移动钢网让模具平台与钢网定位销对应,并经经固定钢网,此时对钢网与模具进行水平对位,较佳方式为模具与钢网平行,不接触,较好留有0.1mm的间距。二)、扫球,植球完毕。江苏自动晶圆植球设备销售厂家
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