全自动植球检查修补一体机研发

晶圆植球机，晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术，研究了WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。本文针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式，研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术，并在自主研制的半自动晶圆级微球，植球机进行植球实验，晶圆尺寸12inch，焊锡球直径250um， 晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。工作环境湿度：30~60％ ；机器重量：200KG 。晶圆植球机可进行球形焊、晶圆植球、芯片植球等、 以及客户化的线弧形状。它适合于许多封装方面和元件的组装，包括复杂的混合电路、MCMs和高可靠性器件。晶圆级微球植球机，经过两年的试用和检验，获得多家半导体封测厂商认可并开始量产。晶圆植球机用经过严格的机器来进行测试，为客户提供可信赖保证。全自动植球检查修补一体机研发

晶圆级封装设备中的印刷部和植球部都需要使用金属模板，金属模板的主要功能是印刷时将助焊剂(Flux)准确的涂敷在晶圆的焊盘上和植球时焊锡球通过模板网孔落入晶圆焊盘上，植球和印刷过程类似，其中印刷部分的精度要求高于植球，植球有人工手动植球和自动植球，下面主要分析金属模板印刷。印刷机构对刮刀的控制机能包括压力、印刷速度、下压深度、印刷距离、刮刀提升等I7。印刷压力是由刮刀压力和金属模板弹性变形力以及助焊剂的粘力共同作用结果"”。设气缸工作压缩空气压强为P，气缸缸径为d,气缸个数为n,弹簀弹性系数为k，变形量为δ，弹簧个数为n2刮刀重力为G,则气缸理论输出力F,和刮刀压力F。全自动植球检查修补一体机研发在放置晶圆植球机箱体时，请确保箱体有效接地，确保安全。

晶圆植球机的设备结构简易，易操作维护。根据客户需要，可选配检查补球机组线生产。晶圆植球机可对应8,12寸的晶圆。（注1）5.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆级微球植球机是半导体封装装备，专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术，满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求，克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足。

晶圆片级芯片规模封装，即晶圆级芯片封装方式，不同于传统的芯片封装方式（先切割再封测，而封装后至少增加原芯片20%的体积），此种较新技术是先在整片晶圆上进行封装和测试，然后才切割成一个个的IC颗粒，因此封装后的体积即等同IC裸晶的原尺寸。WLCSP的封装方式，不但明显地缩小内存模块尺寸，而符合行动装置对于机体空间的高密度需求；另一方面在效能的表现上，更提升了数据传输的速度与稳定性。晶圆级封装中圆级封装是在完成封装和测试后，才将品圆按照每一个芯片的大小来进行切割，统一前端和后端工艺以减少工艺步骤，封装后的体积与IC棵芯片尺寸几乎相同，能大幅降低封装后的IC尺寸，是真正意义上的芯片尺寸封装。选择bga植球检查修补一体机时的注意事项是什么？

晶圆植球机可实现晶圆从上料到下料的全程自动化生产，各工序同时进行，大幅提高效率；可连接回流炉、清洗机；可对应硅晶圆和定制化晶圆。半自动BGA植球机1）功能用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂，振动方式供球，晶圆植球机封装，真空方式吸取和放球2）特点振动盘方式供球，所有品种通用，晶圆植球机封装，治具成本低结构紧凑，占地空间小3）参数芯片尺寸：1x1〜50x50mm锡球尺寸：≥0.2mm对位精度：10um对应产品：基板和单颗产品速度：30s/panel植球良率：99.95%。机器外形尺寸：850(W)x1100(D)x1750(H)mm。目前主流晶圆植球机以8寸，12寸晶圆为主。全自动植球检查修补一体机研发

如果晶圆植球机长期不使用，应将机器进行清洗并封存，放在干燥的室内，以免电器受潮而影响使用。全自动植球检查修补一体机研发

晶圆植球机：晶圆在前道刻好回路后，需要在各个芯片凸点上布上锡球，以达成电路的一个连通。目前主流以8寸，12寸晶圆为主，每片晶圆上有分布上千个芯片，每片芯片的凸点从几百到几千不等，需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。敝司的设备可以在1分钟左右内，同时在晶圆上植入锡球，以及检查及修补，较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉，锡球在高温下融化，从而焊接在晶圆上。设备利用独自开发取得的毛刷，可以高效植球的同时，能延缓锡球的氧化，不造成锡球的浪费。全自动植球检查修补一体机研发