在半导体刻蚀设备中,随着大规模集成电路集成度的不断提高以及半导体特征尺寸不断缩少,等离子体刻蚀技术面临了许多新的挑战,例如等离子刻蚀晶圆带来的污染问题、刻蚀工艺的稳定性、刻蚀技术的应用范围等。刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源,等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此,研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前,主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外,等离子体设备的气体喷嘴,气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。氧化铝陶瓷的品牌哪个好?常州卡奇告诉您。浙江超音速氧化铝陶瓷价格
氧化铝陶瓷制品成型方法:氧化铝陶瓷制品成型方法有干压、注浆、挤压、冷等静压、注射、流延、热压与热等静压成型等多种方法。近几年来国内外又开发出压滤成型、直接凝固注模成型、凝胶注成型、离心注浆成型与固体自由成型等成型技术方法。不同的产品形状、尺寸、复杂造型与精度的产品需要不同的成型方法。常用成型方式有干压成型和注浆成型:1、干压成型:氧化铝陶瓷干压成型技术只于形状单纯且内壁厚度超过1mm,长度与直径之比不大于4∶1的物件。成型方法有单轴向或双向。压机有液压式、机械式两种,可呈半自动或全自动成型方式。压机最大压力为200Mpa。产量每分钟可达15~50件。由于液压式压机冲程压力均匀,故在粉料充填有差异时压制件高度不同。而机械式压机施加压力大小因粉体充填多少而变化,易导致烧结后尺寸收缩产生差异,影响产品质量。因此干压过程中粉体颗粒均匀分布对模具充填非常重要。充填量准确与否对制造的氧化铝陶瓷零件尺寸精度控制影响很大。粉体颗粒以大于60μm、介于60~200目之间可获比较大自由流动效果,取得比较好压力成型效果。 上海耐磨氧化铝陶瓷修复氧化铝陶瓷服务哪家好?常州卡奇告诉您。欢迎来电咨询常州卡奇!
氧化铝陶瓷的表面光洁度怎样才能完成?为了提高产品的精度,大多数氧化铝陶瓷材料在完成烧结过程后需要进一步的精加工处理,以达到更高的表面光洁度。然而,氧化铝陶瓷毕竟不是普通的材料。怎样才能完成得更好?由于氧化铝陶瓷材料的硬度较高,因此有必要使用更硬的研磨抛光砖材料对其进行抛光,如碳化硅、B4C或金刚钻。此外,氧化铝陶瓷材料表面的润滑性应在抛光过程中提前改善。在氧化铝陶瓷材料的精细加工方面,比较常见的方法是由粗到细逐步研磨,然后抛光表面。抛光时,可选择小于1μm的Al203微粉或金刚钻浆料进行研磨和抛光。当然,激光加工和超声波加工也可以达到研磨和抛光氧化铝陶瓷的目的。
氧化铝的化学式:氧化铝分子量为102,Al2O3是自然界中铝的主要来源。Al2O3具有非常高的熔点,即2,072°C,并且非常坚硬。氧化铝的颜色:氧化铝陶瓷根据其氧化铝含量的不同,在颜色上也会有所差异。95%-96%氧化铝瓷为乳白色,而99%氧化铝瓷则为黄色。氧化铝的密度:氧化铝陶瓷根据其氧化铝含量的不同,在密度上也会有所差异。95%-96%氧化铝瓷为3.7-3.8g/cm³,而99%氧化铝瓷为3.8-3.9g/cm³。氧化铝的性质:优良的电绝缘(1×10 14〜1×10 15 Ω厘米);中至超高机械强度(300至630 MPa);极高的抗压强度(2000至4000 MPa);高硬度(15至19 GPA);中导热率(20至30 W / MK);高腐蚀和耐磨性;良好的研磨性能;低密度(3.75至3.95 g / cm3);无机械负载时的工作温度为1000至1500°C;生物惯性,食品相容性。常州卡奇氧化铝陶瓷值得信赖。欢迎来电咨询常州卡奇!
氧化铝陶瓷本身性质就是耐磨、耐高温、耐酸碱腐蚀、绝缘性好,因其原料相对便宜、易得,因而普遍适用于机械、电子、化工、耐火等多个行业,那么氧化铝陶瓷的主要成分是哪些呢?氧化铝陶瓷的主要成分氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料,用于厚膜集成电路,氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。需要注意的是需用超声波进行洗涤。氧化铝陶瓷是一种用途普遍的陶瓷,因为其优越的性能,在现代社会的应用已经越来越普遍,满足于日用的性能的需要。氧化铝陶瓷怎么选?常州卡奇告诉您。上海金属表面氧化铝陶瓷修复
欢迎致电常州卡奇咨询氧化铝陶瓷。欢迎来电咨询常州卡奇!浙江超音速氧化铝陶瓷价格
氧化铝陶瓷质量方面的剖析:由于氧化铝陶瓷具备比较独特的性能,而且已经在市场上得到了重视,主要的是还吸引了研究人员的开发和研究,让其在大气的污染控制上,熔融金属过滤的可能性等,但是存在的很多问题,还是需要得到及时有效的解决,下面就和方泰新材一起来了解下氧化铝陶瓷吧。但是氧化铝陶瓷在脆性上还需要提高,而且氧化铝陶瓷在脆性上也是致命的缺点,在很大的程度上都会对氧化铝陶瓷进行限制,虽然已经有很多相关的专业人员,在对这方面进行研究,但是,效果却微乎甚微。浙江超音速氧化铝陶瓷价格