沉积 / 刻蚀腔体及部件清洁清洁对象:CVD(化学气相沉积)腔体、PVD(物***相沉积)靶材、刻蚀机反应室(内壁、喷头、电极)。污染问题:沉积过程中,薄膜材料(如 SiO₂、SiN、金属 Cu/Al)会在腔体壁、靶材边缘沉积,形成 “结垢层”,积累到一定厚度会剥落并污染晶圆;刻蚀反应室中,等离子体与晶圆反应生成的聚合物(如 CF₄刻蚀硅产生的 CxFy)会附着在喷头和电极表面,导致刻蚀速率不均匀。干冰清洗作用:无需拆卸腔体(传统清洁需拆解,耗时 4-8 小时,且可能引入外界污染),通过酷尔森icestorm干冰颗粒的冲击和低温脆化效应,使结垢层(硬度较高的陶瓷或金属薄膜)与腔体基材分离,随气流排出。保护腔体内部精密部件(如石英喷头、金属电极):控制干冰颗粒尺寸(3-5mm)和压力(0.3-0.6MPa),可去除靶材边缘的沉积残留,同时不损伤靶材表面(靶材精度直接影响沉积薄膜的均匀性)。航空航天场景下,酷尔森的干冰清洗设备可安全去除涡轮叶片积碳,且不会损伤碳纤维复合材料结构。山东便携式干冰清洗卖价
在半导体行业,生产环境(如 Class 1 级洁净室)和产品(晶圆、芯片、精密部件)对 “零污染、无损伤、超高洁净度” 的要求堪称工业领域**严苛标准之一。酷尔森icestorm干冰清洗凭借无残留、化学惰性、低温无损、适配精密场景等特性,成为解决半导体生产中 “微污染物去除、设备维护、产品良率提升” 的关键技术。其**应用场景覆盖晶圆制造、封装测试及设备维护全流程,具体如下:一、晶圆制造环节:从光刻到沉积 / 刻蚀的精密清洁晶圆(硅片、化合物半导体晶圆)是半导体的**基材,其表面及生产设备的洁净度直接决定芯片的良率(每片晶圆含数百个芯片,一个微米级杂质可能导致整片失效)。干冰清洗在以下关键工序中发挥不可替代的作用:1. 光刻掩模版(光罩)清洁清洁对象:光刻掩模版(表面镀铬层、石英基底)、光罩盒(Pod)。污染问题:光罩是光刻图案的 “母版”,表面若残留纳米级颗粒(≤0.1μm)、有机污染物(如光刻胶残渣)、金属离子,会导致光刻图案转移时出现缺陷(如线宽偏差、图形畸变),直接降低芯片良率。传统清洁(如兆声波清洗、化学湿法清洗)可能引入水分残留或划伤镀铬层(厚度*数十纳米)。江西气动干冰清洗卖价酷尔森干冰清洗通过“冷脆-冲击-膨胀”,彻底去除顽固污渍,同时保护设备基材,提高生产效率,降低成本。

PACK 组装与电池组维护在电池 PACK(模组组装、Pack 壳体清洁)及退役电池回收前的预处理中,干冰清洗可解决以下问题:1. 模组连接件与壳体清洁清洁对象:电芯间连接片(铜排、铝排)、Pack 壳体内部。污染问题:连接片表面可能有氧化层、油污,影响导电性能;壳体内部可能残留粉尘、胶黏剂残渣,影响模组装配精度。酷尔森icestorm干冰清洗作用:去除氧化层和油污,提升连接片导电性;清洁壳体死角,避免杂质影响模组散热或绝缘性能。2. 退役电池拆解前的预处理清洁对象:退役电芯表面、壳体。污染问题:退役电池表面可能附着电解液残留、粉尘或腐蚀物,拆解时易导致污染物扩散。干冰清洗作用:安全去除表面污染物,避免拆解过程中的二次污染,同时不损伤电芯结构,为后续材料回收(如正极材料、铜箔、铝箔)提供洁净基础。生产设备与环境维护锂电生产设备(如洁净室管道、自动化机器人、检测仪器)的清洁直接影响生产稳定性:洁净室管道与风淋系统:去除管道内的粉尘、微生物残留,避免污染洁净环境;清洁风淋室喷嘴,保障气流均匀性。自动化设备部件:如机械臂抓手、移栽机构,去除表面附着的极片粉末或胶黏剂,避免对电芯造成二次污染。
工具与治具清洁:晶圆载具: 清洁用于传输和存储晶圆的卡匣、FOUP/FOSB门、内部表面上的微粒、有机物残留和静电吸附的灰尘。机器人手臂末端执行器: 清洁用于搬运晶圆的机械手上的微粒和污染物,防止污染晶圆。工艺腔室内的夹具和基座: 去除静电卡盘、固定装置等表面的沉积物。封装与测试环节:模具、封装设备部件: 清洁封装设备(如键合机、塑封机)模具表面、顶针、传送带等部件上的溢料、脱模剂残留、环氧树脂等。测试插座、探针卡: 去除探针卡、测试插座接触点上的氧化物、有机物残留、助焊剂残留等,确保良好的电接触。需要极其精细的控制以避免损坏精密探针。PCB板/基板预处理: 在键合或组装前,清洁PCB或基板表面的氧化物、指纹、油脂等轻微污染物。酷尔森环保科技(上海)有限公司的干冰清洗技术在芯片(半导体)制造行业中的应用是一种高效、精密且环保的清洁方法,尤其适用于对污染极度敏感、不能接触液体或化学溶剂、且需要避免物理损伤的精密设备和组件。干冰雪花颗粒尺寸微小(1-200µm),质地柔软,能实现对精密部件和敏感材质的无损清洁。

干冰清洗技术凭借其环保、高效和无损的特性,在船舶行业的多个关键场景中实现了创新应用,逐步替代传统清洗方式。以下是其**应用领域及技术优势的详细分析:一、船舶甲板清洗:高效除盐除锈技术原理:干冰颗粒(-78.5°C)高速撞击甲板表面时瞬间升华,产生“微爆效应”剥离盐分、锈迹及油污,同时通过内置吸尘系统收集残留物。设备创新:半自动清洗机整合干冰储藏室、气压控制喷嘴、万向轮底盘及透明可视仓,支持快速/强力双模式切换,无需水源即可完成大面积清洁。例如,设计的设备通过反向风扇系统实现污垢同步吸纳,避免二次污染。优势对比传统方法:传统高压水洗消耗淡水量大(单次作业可达数吨),且残留盐分加速腐蚀;干冰清洗则彻底去除缝隙盐晶,保护防锈涂层,延长甲板寿命。螺旋桨维护:无需拆卸的深度清洁问题背景:螺旋桨附着油污、藤壶等海生物增加航行阻力达10–15%,传统机械刮除易损伤桨叶表面。酷尔森干冰解决方案:干冰颗粒通过非接触式喷射,深入桨叶缝隙去除生物附着,同时低温特性抑制生物活性。实践显示,清洗后螺旋桨效率提升8–12%,且无需拆卸,减少停机时间50%以上。干冰清洗适用于骨科器械(如PEEK材料)的去毛刺、硅胶模具的在线清洁以及医疗产品的表面处理。吉林防爆干冰清洗24小时服务
酷尔森是干冰清洗技术的行业,其干冰清洗机利用低温干冰颗粒和压缩空气,无需化学溶剂或水。山东便携式干冰清洗卖价
洁净室环境与管道清洁洁净室地面、墙面:去除表面的微尘(≥0.5μm 颗粒需控制在每立方英尺≤1 个),干冰清洗无二次扬尘(CO₂气体可带走粉尘),符合洁净室 “零微粒扩散” 要求。工艺管道(如高纯气体管道、真空管道):去除管道内的氧化层、焊渣残留,避免气体输送时污染物脱落污染晶圆。酷尔森icestorm干冰清洗在半导体行业的**优势无残留污染:干冰(固态 CO₂)升华后变为气体,无液体、固体残留,彻底避免传统化学清洗(如 HF、SC1/SC2 洗液)带来的离子污染(Na⁺、K⁺等金属离子会导致芯片漏电)。无损保护精密部件:通过参数化控制(颗粒大小 3μm-5mm、压力 0.05-0.8MPa),可适配从纳米级光罩到毫米级模具的清洁需求,避免机械划伤或化学腐蚀(如铝焊盘耐腐蚀性差,无法用酸性清洗剂)。适配 “惰性环境” 需求:CO₂是惰性气体,不与半导体材料(硅、金属、陶瓷)反应,尤其适合光刻、沉积等 “禁化学物质” 的工艺环节。提升生产效率:支持在线清洁(如刻蚀腔体可在工艺间隙清洁,无需停机拆解),传统腔体清洗需 4-8 小时,干冰清洗可缩短至 30 分钟内,设备稼动率提升 20% 以上。山东便携式干冰清洗卖价