企业商机
真空规管基本参数
  • 品牌
  • 义乌三箭真空镀膜材料有限
  • 型号
  • 齐全
  • 壳体型式
  • 齐全
真空规管企业商机

高精度真空规管,包括:外壳;薄膜片,所述薄膜片固定设置在外壳内部,并将外壳内部空间分为真空空间和被测空间;定电极,所述定电极固定设置在真空空间内,所述定电极与所述薄膜片相对的那一表面上设有主电极,所述定电极的另一表面上设有镀金层;第1电极柱,所述第1电极柱一端与外部电容测量电路相接,另一端与外壳相接;第二电极柱,所述第二电极柱一端与外部电容测量电路相连,另一端穿过外壳与所述镀金层相接,且与所述外壳绝缘;进气口,所述进气口设置在外壳上,并位于被测空间所在的一侧.本发明测量精确,热漂移系数小,能够适用于半导体工艺设备中真空测量。真空管电流与电子流动的方向恰巧相反。芜湖真空规管批发

金属热偶真空规管,该型规管采用经过稳定化处理,热容量较小的镍铬-康铜作加热丝和热偶丝,具备环境温度自动补偿和粉尘防护功能,具有结构简单,量程较宽,响应较快,抗污染,耐氧化,漂移小,寿命长,性能稳定,价格适中等特点。特别适用于低真空测量。该型规管可以与玻璃热偶规管互换使用。高真空多层绝热低温容器为研究对象,利用残余气体分析仪研究冷阴极真空规管,热阴极真空规管以及热阴极真空规管不同放置位置对低温容器真空夹层内残余气体的影响.结果表明:冷阴极真空规管对低温容器真空夹层内残余气体的影响几乎是可以忽略不计的;热阴极真空规管对低温容器真空夹层内残余气体的影响较大,热阴极的灯丝和残余气体之问存在化学反应,使得残余气体中H2O,CH4,CO和CO2的分压力升高,而O2的分压力降低;对于既有残余气体分析仪,又有热阴极真空规管的系统,热阴极真空规管的安装位置应该尽可能地远离残余气体分析仪。芜湖真空规管批发真空管(Vacuum Tube),表示玻璃瓶内部抽真空,以利于游离电子的流动。

磁铁型冷阴极电离真空规管及包含其的真空测量系统,一种磁铁型冷阴极真空电离规管,其特征在于,所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极,磁系统;所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳,所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通,另一个电极为呈棒状结构的电极,所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中;所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁,所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场.所述的磁铁型冷阴极电离真空规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统,能够提高测量精度和测量范围。

电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。电容式薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计,它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法,仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是:种补偿法,具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计。

真空规管的工作原理:电阻规管的工作原理:电阻规管是用一根电阻温度系数大的热丝制成,热丝构成惠斯顿电桥的一臂,经稳定的电源加热后,其电阻随气体压力而变,由测量电阻的变化可得到压力的变化。按热丝电阻变化的测量方法,电阻计分为定压式、定流式和定温式三种(即分别维持热丝的电压、电流和温度不变)。电阻计的测量范围10~1×10-1帕。压阻规的工作原理:压阻规是用“硅环膜片”作为金属弹性薄膜,硅环膜片内侧为标准压力10-3帕,外侧为被测压力,当膜片外侧的压力变化时,由于硅的压阻效应,阻值发生变化,对应于被测压力的电压信号输出压力显示值。测量范围105~10帕。压阻规的灵敏度与被测气体种类无关,线性测量精度高,量程能自动转换。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。芜湖真空规管批发

皮拉尼系列(电阻规管)主要以用于粗低真空测量。芜湖真空规管批发

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