中源绿净的洁净室环境监测系统，针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求，开发了多项定制功能，重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题，为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测，电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感，普通监测设备难以捕捉，而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器，可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测，监测分辨率达 0.1 粒 /m³，能及时发现车间内的微小微粒污染，避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。中源绿净模块化洁净室，空调系统过滤段更换时间≤30 分钟，为 20 + 企业减少停机影响！5um洁净室颗粒物在线监测
中源绿净的洁净室环境监测系统，适用场景包括关注能耗成本的洁净室企业，如电子半导体、制药、食品、医疗，尤其适用于大型洁净园区。在电子半导体企业中，能耗统计帮助优化 FFU 与空调运行参数；在制药企业中，分析帮助平衡能耗与洁净度达标；在食品企业中，能耗统计降低洁净加工的生产成本；在大型医疗园区中，汇总分析各洁净区域能耗，实现整体节能。能耗统计分析功能让系统从 “环境监测” 拓展至 “能耗管控”，为用户提供经济、高效的洁净管理方案。百级洁净室源头厂家中源绿净模块化洁净室，拆卸后材料回收率达 90%，为 30 + 企业响应环保政策要求！
中源绿净经过 1500 + 场景实测验证，其 FFU 与洁净度联动系统可实时捕捉洁净室微粒浓度数据（检测频率 1 次 / 秒），当浓度超出预设阈值时，自动向对应区域 FFU 发送风速调节指令，实现从低速运行（0.3m/s）到高速运行（0.6m/s）的无级调速，快速降低微粒浓度至合格范围。系统内置风速调节算法，可根据超标幅度智能匹配调节幅度，轻微超标时小幅提升风速，避免能耗浪费；严重超标时全额提速，确保快速达标。在半导体晶圆制造车间，当光刻区域洁净度超标时，系统可调节该区域 FFU 风速，30 秒内即可将 0.1μm 微粒浓度降至 ISO 1 级标准；在无菌制药 A 级洁净区，系统通过风速动态调节，维持区域内微粒浓度稳定，避免人工干预不及时导致的生产中断。适用场景包括对洁净度响应速度要求高的电子、制药、医疗等行业，系统风速调节精度达 ±0.02m/s，可根据洁净等级需求预设风速阈值范围，同时记录每次调节的时间、原因、效果等数据，便于追溯分析，联动过程无需人工操作，既提升管控效率，又减少人为失误。
中源绿净洁净度在线监测系统，可根据 ISO 14644-1 标准中不同洁净度等级（如 Class 5、Class 6、Class 7、Class 8）的要求，灵活配置监测参数，系统对 Class 5 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤1200 PCS/m³）的监测误差控制在 ±5% 以内，对 Class 8 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤3520000 PCS/m³）的监测误差≤±3%。电子厂生产芯片、精密电子元件时，对洁净度等级要求极高，若监测系统无法匹配等级标准，可能导致产品良率波动 —— 某电子厂生产 7nm 芯片时，因原监测系统未达到 Class 5 级监测精度，误判洁净区合格，导致某批次芯片良率为 75%，低于正常水平 10 个百分点。该系统通过监测不同等级洁净区的粒子浓度，实时显示当前区域洁净度等级是否达标，当浓度接近等级上限时，自动触发预警，例如 Class 6 洁净区 0.5μm 粒子浓度达到 24000 PCS/m³（等级上限为 35200 PCS/m³）时，系统推送预警信息，提醒管理人员及时干预。中源绿净为 50 + 光伏企业建模块化洁净室，粉尘浓度控制在 0.3μm/㎡・h 以下，提升组件良率！
中源绿净针对大型园区管理需求，其 FFU 与洁净度联动系统构建分布式联动网络，可根据园区布局、车间分布、洁净等级差异，规划合理的 FFU 联动集群与数据传输路径，支持有线与无线混合组网，覆盖园区内所有洁净区域，实现集中管理与分散控制的结合。系统平台具备强大的数据处理能力，可同时接入 1000+FFU 设备，实时整合各区域洁净度数据与联动状态，支持园区级数据可视化展示（2D/3D 地图标注），快速定位异常区域。在大型电子产业园，园区内多个半导体车间、封装车间的 FFU 可按区域集群联动，总部管理人员通过平台即可掌握全局状态；在综合性制药园区，不同工厂、不同剂型的洁净室 FFU 联动参数可统一配置，便于园区管委会统筹调度。适用场景包括大型制造园区、产业集群、多工厂联合企业等，系统支持园区与车间两级管理权限，园区管理员负责全局参数配置，车间管理员专注本区域联动调整，具备数据分级统计功能，可生成园区整体联动报告与各车间单独报告，分布式网络具备冗余设计，某一区域网络故障不影响整体联动运行，确保监测管控的连续性。中源绿净模块化洁净室，能耗监测系统可节能 18%，为 50 + 企业年省电费超 5 万元！苏州百万级洁净室测试国家标准
中源绿净为 50 + 半导体光刻车间打造模块化洁净室，微粒控制达标，光刻精度提升！5um洁净室颗粒物在线监测
中源绿净兼顾小型场所需求，其 FFU 与洁净度联动系统推出紧凑型配置，采用一体化设计，将控制器、监测模块、联动接口整合为一体，体积为 400mm×300mm×200mm，重量 6.8kg，支持 1-20 台 FFU 设备接入，可覆盖 50-800㎡的小型洁净室，无需复杂安装，通电即可使用。系统具备基础的洁净度监测、FFU 风速调节、联动报警、数据记录功能，同时保持与大型系统一致的联动精度与合规性。在小型生物实验室，紧凑型配置可节省空间，满足科研实验的洁净联动需求；在临时搭建的应急医疗洁净帐篷，系统可快速部署，通过 FFU 联动维持洁净环境；在小型电子元器件作坊，系统可实现低成本的合规联动管控。适用场景包括小型企业洁净区、实验室、临时洁净场所、空间有限的生产车间等，紧凑型系统支持无线通讯（Wi-Fi / 蓝牙），无需布线，降低部署成本，操作界面简洁直观，支持中文显示，非专业人员也可快速上手，同时具备扩展能力，当洁净区域扩大或 FFU 数量增加时，可直接升级模块，无需更换整套系统，兼顾实用性与经济性。5um洁净室颗粒物在线监测
