中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净模块化洁净室,可定制高度达 3.5m,为 40 + 企业满足大型设备安装需求!模块化洁净室粒子监测

中源绿净应对潮湿环境挑战,其 FFU 与洁净度联动系统具备的防潮防护设计,相对湿度适应范围达 5%~95%(无冷凝),控制模块采用密封式防潮封装,电路板涂刷三防漆(防潮湿、防霉菌、防盐雾),FFU 联动接口具备防水防尘设计(IP65 防护等级),避免潮湿空气导致的设备故障。系统内置湿度监测功能,当环境湿度接近冷凝点时,自动调整 FFU 联动策略(如适当提升风速促进除湿),同时发出除湿提醒。在南方梅雨季节的洁净车间、沿海地区的工厂,高湿度环境易导致设备内部结露、部件腐蚀,产品的防潮设计可有效避免此类问题;在食品加工车间的清洗区域附近,潮湿空气不会影响系统联动运行。适用场景包括潮湿地区企业、食品加工车间、沿海工厂、高湿度实验室等,系统经过湿热环境可靠性测试,在 40℃、95% 相对湿度条件下可连续联动运行 1500 小时无故障,防潮设计不影响联动响应速度与检测精度,监测终端表面采用防水涂层,可直接擦拭清洁,进一步提升潮湿环境下的使用便利性,支持与车间除湿系统联动,形成多维度防潮管控。手持式洁净室中源绿净的模块化洁净室,安装周期比传统缩短 60%,已为 30 + 电子厂建成,洁净度稳定在 Class 5 级!

中源绿净的洁净室环境监测系统,支持固件在线升级功能,用户无需现场拆解设备,通过管理平台即可对单台或多台设备的固件进行远程升级,获取新功能、修复漏洞,同时减少设备停机时间与运维成本。系统的在线升级流程包括固件推送、升级确认、自动升级、升级验证四步:平台首先向目标设备推送固件版本(标注更新内容,如 “新增微生物数据导出功能”“修复温湿度数据波动 bug”);用户在平台确认升级设备与时间(支持选择非生产时段,如夜间);设备在指定时间自动下载固件并完成升级,升级过程中保持数据采集不中断(升级耗时≤5 分钟);升级完成后,系统自动验证设备功能(如传感器采集、数据传输),确认正常后反馈升级成功,若失败则自动回滚至原版本,避免设备故障。
中源绿净智能洁净室物联网平台,构建了 “异常报警 - 原因追溯 - 处理执行 - 效果验证” 的洁净度异常事件闭环管理流程,平台可自动记录异常事件从触发到解决的全流程数据,事件处理完成率统计精度达 100%,处理时效较传统人工管理提升 40% 以上。在药厂生产中,洁净度异常事件若处理不及时或流程不规范,可能导致问题重复出现 —— 某药厂曾因洁净度超标事件未彻底追溯根源,1 个月内同一车间连续发生 3 次类似问题,造成 2 批次药品返工。该平台在异常事件触发后,会自动关联该区域历史监测数据(近 72 小时粒子浓度、温湿度变化)、生产活动记录(物料转运、设备维护时间),为管理人员提供原因排查方向,例如当某制粒间粒子浓度超标时,平台提示可能与 2 小时前的设备清洁操作相关。管理人员处理完成后,需在平台上传处理方案(如重新清洁设备、更换滤网)与验证数据(处理后 1 小时内的洁净度监测结果),平台生成闭环管理报告中源绿净的模块化洁净室,门体密封性能达 10Pa 压力下泄漏率≤0.5m³/h,保障洁净度!

中源绿净降低维护成本,其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 设备自诊断与洁净度联动预警功能,可实时监测 FFU 电机、风机、过滤器、传感器等组件的运行状态,自动识别故障(如电机过载、过滤器堵塞、传感器失效等),并发出维护预警,同时调整联动策略(如调度周边 FFU 弥补故障区域)。系统支持故障分级预警,轻微故障(如过滤器轻微堵塞)推送至操作员,严重故障(如电机故障)同步至技术人员与管理人员,确保及时处理。在制药车间,FFU 故障可能影响合规监测,自诊断功能可提前预警,避免检测中断;在大型园区,多 FFU 管理中自诊断可帮助快速定位故障设备,减少维护时间;在偏远地区车间,故障预警可让技术人员提前准备配件,提高维护效率。适用场景包括所有使用该系统的洁净室,尤其是设备数量多、维护难度大的场所,系统内置故障处理知识库,包含常见故障的原因分析与解决步骤,操作人员可根据提示自行处理简单故障,故障记录自动存储,便于维护统计与系统优化。中源绿净为 25 + 生物制药研发中心打造模块化洁净室,实验环境稳定,研发周期缩短 15%!苏州洁净室在线监测
中源绿净的模块化洁净室,地面平整度误差≤2mm/2m,为 30 + 企业满足精密设备安装!模块化洁净室粒子监测
中源绿净的洁净室环境监测系统,内置能耗统计分析功能,可实时监测并统计系统自身及关联洁净设备(如 FFU、空调、除湿机)的能耗数据,帮助用户掌握能耗分布、识别节能空间、降低洁净管理的能源成本。系统的能耗统计覆盖两类设备:一是自身能耗,通过内置电能计量模块,监测单台设备的电压、电流、功率、耗电量,生成设备能耗日报 / 月报;二是关联洁净设备能耗,通过对接设备的智能电表,获取 FFU、空调等设备的能耗数据,汇总至同一平台。分析功能支持能耗趋势分析(如每日能耗变化、月度能耗对比)、能耗占比分析(如各设备能耗占总能耗的比例)、节能潜力分析(标注能耗异常高的设备,提示优化建议)。模块化洁净室粒子监测