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超快激光玻璃晶圆切割设备基本参数
  • 品牌
  • 超通智能
  • 型号
  • CTI-GlassCut
  • 控制方式
  • 数控
  • 作用对象
  • 玻璃
  • 电流
  • 交流
超快激光玻璃晶圆切割设备企业商机

硅材料对红外透过率很高,所以硅的隐形切割设备,通过选用短脉冲红外激光器,将激光脉冲聚焦到硅衬底内部,实现隐形切割。激光隐形切割是非接触式切割,解决了砂轮切割引入外力冲击对产品破坏的问题。不过一般设备的激光隐形切割形成的改质层区域会使材料变得酥脆,还是会形成少量细小硅碎屑掉落,虽然碎屑数量远少于砂轮切割,如前文所述,MEMS晶圆因为无法通过清洗的方法去除细小硅碎屑,故这些碎屑将对芯片造成破坏,影响良率。超通智能生产的硅晶圆激光切割设备,选用自制的红外激光器和自主开发的激光加工系统,实现硅晶圆的隐形切割,该设备能够很好的控制隐形切割后碎屑的产生,从而满足***MEMS晶圆切割的要求,保证切割良率无锡超通智能的超快激光玻璃晶圆切割设备质量可靠吗?天津自制超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围

激光隐形切割是一种全新的激光切割工艺,具有切割速度快、切割不产生粉尘、无切割基材耗损、所需切割道小、完全干制程等诸多优势。激光隐形切割**早起源于激光内雕,其原理是将短脉冲激光光束透过材料表面聚焦在材料中间,由于短脉冲激光瞬时能量极高,在材料中间形成小的变质点。将激光在聚焦在物质内部应用到切割领域,由日本的光学**企业滨松光学率先发明了隐形切割(steal dicing),多年来滨松一直持有这项技术的多项**。几年前德龙激光通过**技术团队技术攻关,成功研发出了区别于滨松光学的隐形切割技术,并申请了自己的**,并将该技术应用于蓝宝石、玻璃、硅、SiC等多种材料的切割。隐切切割主要原理是将短脉冲激光光束透过材料表面聚焦在材料中间,在材料中间形成改质层,然后通过外部施加压力使芯片分开福建制造超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围超快激光玻璃晶圆切割设备去哪找?无锡超通智能告诉您。

晶圆激光切割与传统的机械切割法相比,这种新的方法有几个重要的优点。首先,这是一步即可完成的、干燥的加工过程。边缘光滑整齐,不需要后续的清洁和打磨。并且,激光引致的分离过程产生**度、自然回火的边缘,没有微小裂痕。使用这种方法,避免了不可预料的裂痕和残破,降低了次品率,提高了产量。因为裂痕是**地沿着激光光束所划出的痕迹,激光引致的分离可以切划出非常**的曲线图案。我们所做的实验也证明了无论直线或是曲线,激光切割都能连续地、**地完成设定图案,重复性可达+50μm。所以激光可以进行曲线图形的**切割。激光切割晶圆有速度快、精度高,定位准确等明显优势。

激光功率是影响划片深度和划片宽度的主要因素,在其他参数固定不变时,划片宽度和划片深度随着激光功率的增加而增大,这是因为,紫外激光虽然属于“冷切割”,但还是存在一定的热效应,热量会积累在切割处。当激光功率一定时,晶圆受到照射的时间越长,获得的能量就越多,烧蚀现象就越严重。频率会影响激光脉冲的峰值功率和平均功率,从而对划片深度、划片宽度和划片质量均产生影响。增大频率,脉冲峰值功率会下降,但整体平均功率会上升,这相当于在划片过程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持续输出产生的热效应累积,给热量的耗散预留了空间。超快激光玻璃晶圆切割设备有哪些种类?无锡超通智能告诉您。

与传统的切割方式相比,随着激光技术的成熟,使用激光对硅晶圆进行高效质量切割已成为质量选择。激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,解决了金刚石锯片引入外力对产品内外部的冲击破坏问题,还免去了更换刀具和模具带来的长期成本。随着“工业4.0”和“中国制造2025”的***铺开,**智能制造越来越离不开高性能激光器的加持。在这样的宏观背景下,为超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备这样的产品提供了广阔的舞台,也将随着其在各行各业的应用而被认可。无锡超通超快激光玻璃晶圆切割设备的特点。湖北制造超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价

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与YAG和CO2激光通过热效应来切割不同,紫外激光直接破坏被加工材料的化学键,从而达到切割目的,这是一个“冷”过程,热影响区域小。另外,紫外激光的波长短、能量集中且切缝宽度小,因此在精密切割和微加工领域具有***的应用,目前,激光划片设备采用工业激光器,波长主要有 1064nm、532nm、355nm 三种,脉宽为ns(纳秒)、ps(皮秒)和fs(飞秒)级。理论上,激光波长越短脉宽越短,加工热效应越小,越有利于微细精密加工,但成本相对较高。天津自制超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围

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