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超快激光玻璃晶圆切割设备基本参数
  • 品牌
  • 超通智能
  • 型号
  • CTI-GlassCut
  • 控制方式
  • 数控
  • 作用对象
  • 玻璃
  • 电流
  • 交流
超快激光玻璃晶圆切割设备企业商机

晶圆激光切割与传统的机械切割法相比,这种新的方法有几个重要的优点。首先,这是一步即可完成的、干燥的加工过程。边缘光滑整齐,不需要后续的清洁和打磨。并且,激光引致的分离过程产生**度、自然回火的边缘,没有微小裂痕。使用这种方法,避免了不可预料的裂痕和残破,降低了次品率,提高了产量。因为裂痕是**地沿着激光光束所划出的痕迹,激光引致的分离可以切划出非常**的曲线图案。我们所做的实验也证明了无论直线或是曲线,激光切割都能连续地、**地完成设定图案,重复性可达+50μm。所以激光可以进行曲线图形的**切割。激光切割晶圆有速度快、精度高,定位准确等明显优势。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备安心售后。湖北智能超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围

硅材料对红外透过率很高,所以硅的隐形切割设备,通过选用短脉冲红外激光器,将激光脉冲聚焦到硅衬底内部,实现隐形切割。激光隐形切割是非接触式切割,解决了砂轮切割引入外力冲击对产品破坏的问题。不过一般设备的激光隐形切割形成的改质层区域会使材料变得酥脆,还是会形成少量细小硅碎屑掉落,虽然碎屑数量远少于砂轮切割,如前文所述,MEMS晶圆因为无法通过清洗的方法去除细小硅碎屑,故这些碎屑将对芯片造成破坏,影响良率。超通智能生产的硅晶圆激光切割设备,选用自制的红外激光器和自主开发的激光加工系统,实现硅晶圆的隐形切割,该设备能够很好的控制隐形切割后碎屑的产生,从而满足***MEMS晶圆切割的要求,保证切割良率河北超快激光玻璃晶圆切割设备无锡的超快激光玻璃晶圆切割设备定做厂家。

近年来光电产业的快速发展,高集成度和高性能的半导体晶圆需求不断增长,硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃以及磷化铟等材料被广泛应用于半导体晶圆的衬底材料。随着晶圆集成度大幅提高,晶圆趋向于轻薄化,传统的很多加工方式已经不再适用,于是在部分工序引入了激光技术。在诸多激光技术中脉冲激光特别是超短脉冲激光在精密加工领域应用又尤为***,超短脉冲激光是指激光单个脉冲宽度达到甚至小于10-12秒(即皮秒)这个量级的激光,由于激光脉冲时间宽度极短,在某个频率(即一定脉冲个数)下需要释放设定的激光功率,单个脉冲的激光功率就是固定的,将单个脉冲的能量在极短的时间释放出去,造成瞬时功率极高(兆瓦及以上),瞬间改变材料性质,平均功率很低对材料加工区域热影响很小的加工效果即激光冷加工。超短脉冲激光加工具有诸多独特的优势:

硅晶圆是一种极薄的片状硅,它是由高纯度、几乎无缺陷的单晶硅棒经过切片制成。硅晶圆是制造集成电路的载板,在上面布满晶粒,将晶粒切开后得到芯片,将芯片经过封装测试,制成集成电路。其中,将晶粒切开得到单一芯片的过程,称为晶圆切割。晶圆切割是半导体芯片制造工艺流程中不可或缺的关键工序之一,在晶圆制造中属于后道工序。为了实现硅晶圆的比较大利用率,其表面布满了高密度集成电路,对硅晶圆进行切割时,尤其需要考虑切口的宽度和质量,以充分保护硅板上的电路,同时兼顾加工效率。传统切割方式主要是采用金刚石锯片划片切割,存在效率低,崩边大,边缘破碎物多、不平整等问题,而且机械应力的存在容易对晶体的内部和外部产生损伤,良品率低,影响加工效率。同时,还需要根据晶圆的厚度不同选择不同的刀具,增加成本支出,因此传统的切割方式已经不能满足当前的加工需求。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备质量保证。

迭代升级后的激光晶圆隐形切割设备可自由控制激光聚焦点的深度、可自由控制聚焦点的长度、可自由控制两个焦点之间的水平间隔,通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可在500mm/S的高速运动之下,保持高稳定性、高精度切割,激光焦点*为0.5um,切割痕迹更细腻,可以避免对材料表面造成损伤,大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。这款激光晶圆隐形切割设备可广泛应用于高能集成电路产品,包括CPU制造、图像处理IC、汽车电子、传感器、内存等领域的制造,对我国实现**国产半导体供应链起到了积极的促进作用,有很重要的现实意义。超快激光玻璃晶圆切割设备的厂家哪家好?无锡超通智能告诉您。湖北智能超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围

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在激光切割晶圆过程中,从光斑直径上来分析,光斑直径是指光强降落到中心值的点所确定的范围,这个范围内包含了光束能量的86.5%。在理想情况下,直径范围内的激光可以实现切割。实际上,划片宽度略大于光斑直径。在划片时,聚焦后的光斑直径当然是越小越好,这样划片所需的划片槽尺寸就会越小。相应方法就是减小焦距。但是,减小聚焦镜焦距的代价就是焦深会缩短,使得划片厚度减少。因此,焦距的确定需要综合考虑划片的厚度和划片槽的宽度。湖北智能超快激光玻璃晶圆切割设备应用范围

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