设备介绍超快激光玻璃晶圆切割设备,配备好品质皮秒激光器,通过超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圆内部产生非线性自聚焦效应,达到激光成丝切割的效果。该设备还可应用于各类透明脆性材料的快速划线、切割。二、设备特点Ø高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束质量和稳定性、超窄脉宽,聚焦光斑极小,*2-3μm,采用全新的贝塞尔激光成丝技术,可实现3mm玻璃晶圆一刀切;Ø采用高精密直线电机和全闭环光栅检测控制系统,加工台面可达400×400mm,保证稳定高效生产;Ø配备高像素视觉定位系统,可抓取各类Mark点及轮廓,实现高精度图像定位加工;Ø采用天然大理石的机床基座、高刚性结构设计以及减震机床脚杯,很大程度减轻加速过程中产生的惯性震动,并可有效防止环境温度变化引起的床身精度变化。超快激光玻璃晶圆切割设备的市场应用分析。江西销售超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话
主要性能参数产品型号CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波长1064 nm激光器脉宽10 ps平均峰值功率50W切割头切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩边<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平台参数平台形式XY直线电机基座高精度大理石平台加工范围400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重复定位精度±2 um比较大速度1000 mm/sCCD工业相机600W镜头远心镜头系统属性支持文件格式DXF等常规CAD格式环境要求温度:20-30℃,湿度:<60%电力需求380V/50Hz/10KVA自动化超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话超快激光玻璃晶圆切割设备的制作方法难吗?无锡超通智能告诉您。
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。国内晶圆以 8英寸和 12 英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高,颗粒数也出现了新的数据特点
激光隐形切割作为激光切割晶圆的一种方案,很好的避免了砂轮划片存在的问题。如图1所示,激光隐形切割是通过将脉冲激光的单个脉冲通过光学整形,让其透过材料表面在材料内部聚焦,在焦点区域能量密度较高,形成多光子吸收非线性吸收效应,使得材料改性形成裂纹。每一个激光脉冲等距作用,形成等距的损伤即可在材料内部形成一个改质层。在改质层位置材料的分子键被破坏,材料的连接变的脆弱而易于分开。切割完成后通过拉伸承载膜的方式,将产品充分分开,并使得芯片与芯片之间产生间隙。这样的加工方式避免了机械的直接接触和纯水的冲洗造成的破坏。目前激光隐形切割技术可应用于蓝宝石/玻璃/硅以及多种化合物半导体晶圆。无锡超通智能的超快激光玻璃晶圆切割设备质量可靠吗?
半导体晶圆的激光隐形切割技术是一种全新的激光切割工艺,具有切割速度快、切割不产生粉尘、无耗损、所需切割道小、完全干制程等诸多优势。隐形切割主要原理是将短脉冲激光光束透过材料表面聚焦在材料中间,在材料中间形成改质层,然后通过外部施加压力使芯片分开。晶圆切割是先进技术的**,标志着一个国家的先进水平,想要不出现被卡脖子的状况,唯有发展自己的技术,才能跳出这个泥潭,作为激光行业的**,超通智能针对半导体行业研发的超快激光玻璃晶圆切割设备目前已经广泛应用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存储芯片等诸多晶圆的切割领域,为国家的进步做贡献,实现国产化生产,提升国家竞争力。超快激光玻璃晶圆切割设备的制作步骤详解。陕西制造超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价
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相比于传统的切割方式,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。据了解,超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备,配备***皮秒激光器,通过超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圆内部产生非线性自聚焦效应,达到激光成丝切割的效果。该设备还可应用于各类透明脆性材料的快速划线、切割。公司也通过了ISO9001质量管理体系认证,质量优,欢迎询价!江西销售超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话