主要性能参数产品型号CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波长1064 nm激光器脉宽10 ps平均峰值功率50W切割头切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩边<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平台参数平台形式XY直线电机基座高精度大理石平台加工范围400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重复定位精度±2 um比较大速度1000 mm/sCCD工业相机600W镜头远心镜头系统属性支持文件格式DXF等常规CAD格式环境要求温度:20-30℃,湿度:<60%电力需求380V/50Hz/10KVA超快激光玻璃晶圆切割设备的市场应用分析。浙江先进超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话
半导体晶圆的激光隐形切割技术是一种全新的激光切割工艺,具有切割速度快、切割不产生粉尘、无耗损、所需切割道小、完全干制程等诸多优势。隐形切割主要原理是将短脉冲激光光束透过材料表面聚焦在材料中间,在材料中间形成改质层,然后通过外部施加压力使芯片分开。晶圆切割是先进技术的**,标志着一个国家的先进水平,想要不出现被卡脖子的状况,唯有发展自己的技术,才能跳出这个泥潭,作为激光行业的**,超通智能针对半导体行业研发的超快激光玻璃晶圆切割设备目前已经广泛应用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存储芯片等诸多晶圆的切割领域,为国家的进步做贡献,实现国产化生产,提升国家竞争力。陕西销售超快激光玻璃晶圆切割设备按需定制无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备汽车行业解决方案?
晶圆是半导体产品与芯片的基础材料,晶圆生长后需要经过机械抛光,后期尤为重要的是晶圆切割加工,也叫晶圆划片。早期短脉冲DPSS激光器切割晶圆技术已经在欧洲、美国发展成熟。随着超快激光器的快速发展和功率提升,超快激光切割晶圆未来将会逐渐成为主流,特别在晶圆切割、微钻孔、封测等工序上,设备需求潜力较大。目前国内已经有精密激光设备厂家能够提供晶圆开槽设备,可应用于28nm制程以下12寸晶圆的表面开槽,以及激光晶圆隐切设备应用于MEMS传感器芯片,存储芯片等**芯片制造领域。在2020年深圳某大型激光企业已经研发出激光解键合设备,实现玻璃片和硅片分离,可用于**半导体芯片应用。
硅材料对红外透过率很高,所以硅的隐形切割设备,通过选用短脉冲红外激光器,将激光脉冲聚焦到硅衬底内部,实现隐形切割。激光隐形切割是非接触式切割,解决了砂轮切割引入外力冲击对产品破坏的问题。不过一般设备的激光隐形切割形成的改质层区域会使材料变得酥脆,还是会形成少量细小硅碎屑掉落,虽然碎屑数量远少于砂轮切割,如前文所述,MEMS晶圆因为无法通过清洗的方法去除细小硅碎屑,故这些碎屑将对芯片造成破坏,影响良率。超通智能生产的硅晶圆激光切割设备,选用自制的红外激光器和自主开发的激光加工系统,实现硅晶圆的隐形切割,该设备能够很好的控制隐形切割后碎屑的产生,从而满足***MEMS晶圆切割的要求,保证切割良率无锡超快激光玻璃晶圆切割设备的定制尺寸。
试验表明,在其他参数不变的情况,频率小于10kHz时,划片声音尖锐刺耳,划片深度较浅,划片宽度较宽频率增大,划片深度增加,划片宽度减少。当频率达到50kHz时,划片深度比较大当频率继续增大,划片深度开始减小。这是由于,在较小的频率下,虽然单个脉冲的峰值功率高,但是总体平均功率处于较低水平,虽然切割范围大,但却无法达到理想深度频率增大以后,单个脉冲峰值功率有所下降,但是总体平均功率持续升高,到达临界频率时,可以得到较理想的划片深度和较窄的划片宽度再增大频率,单个脉冲的峰值功率偏低,不足以对硅片进行“切割”,即使平均功率很高,划片深度也趋于变小。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备服务质量高。湖南国产超快激光玻璃晶圆切割设备订制价格
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晶圆切割是封装过程中十分关键的一步,因为在此过程中容易产生大的机械损伤导致严重的可靠性问题,甚至是芯片的损坏。晶圆的切割方式有多种,**传统的切割方式为刀片切割,这也是至今使用*****的一种方式。金刚石划片刀切割晶圆有多重因素会对切割质量造成影响,包括材料,切割仪器,工作环境,切割方法以及其他人为因素等。而现在采用激光切割是相对传统切割更快,质量更高的开工方式。超通智能自主研发的超快激光玻璃晶圆切割设备可以帮助企业**提升加工效率,增加产品的加工质量。浙江先进超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话
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