遵义日立分析仪器扫描电镜

扫描电镜特点：装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散X射线谱仪(EDX),使具有电子探针的功能,也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式,显示出了扫描电镜的多功能。另外,还可以在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件,通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制,因而较大提高了定量分析的速度。扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用。遵义日立分析仪器扫描电镜

扫描电镜应用范围：直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100mm,高50mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和较真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射扫描电镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射扫描电镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。遵义日立分析仪器扫描电镜扫描电镜可以根据需要选择大小不同的视场进行观察。

成像原理：扫描电镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是较主要的成像信号。为其成像原理图，高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。扫描电镜除能检测二次电子图像以外，还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前，要对样品作相应的处理。

场发射扫描电镜：场发射式电子长筒械具则比钨灯丝和六硼化镧灯丝的亮度又分别高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同时电子能量散布但为0.2-0.3eV，在使用加速电压15kV时，分辨率可达到1nm，加速电压1kV时，分辨率可达到2.2nm，所以目前市售的高分辨率扫描电镜都采用场发射式电子长筒械具，一般钨丝型的扫描电镜仪器上的放大倍率可到200000倍，实际操作时，大部份均在20000倍时影像便不清楚了，但如果样品的表面形貌及导电度合适，较大倍率650000倍是可以达成的。扫描电镜普遍应用于矿床学领域的研究。

扫描电镜的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。扫描电镜的特点：和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点：能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。样品制备过程简单，不用切成薄片。样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。扫描电镜普遍应用于天文地质领域的研究。遵义日立分析仪器扫描电镜

扫描电镜普遍应用于生命科学领域的微观研究。遵义日立分析仪器扫描电镜

扫描电镜基本知识：扫描电镜电子光学系统：由电子长筒械具，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。信号收集及显示系统：检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。真空系统：真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。遵义日立分析仪器扫描电镜

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