扫描电镜主要是观察物体的表面形貌,能够直接观察样品表面的结构,也可以从各种角度对样品进行观察,样品制备过程简单。扫描电镜有普通扫描电镜、分析型扫描电镜和场发射长筒械具扫描电镜。扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。扫描电镜扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。广东日立扫描电镜批发肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K,它是在钨(1...
扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低。非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm,入射电子束在试样上扫描宽度为10um,则放大倍数M为:M=100mm/10um=10000因显示器上图像宽度一定...
扫描电镜对样品的要求:四无(无磁、无毒、无污染、无放射性),三有(具有稳定性、干燥性、导电性),两不(不发光、非高温)。尽量保持样品原始的表面形态和结构。颗粒或粉末数量要适中,避免团聚;块状样品体积要控制在120mm×80mm×50mm以内、高度限制在5~10mm左右。测试的整个流程要注意清洁。为降低样品污染程度,可事先用酒精或超声波清洗。观察成分相的样品表面应尽量光滑,高度差异不可太大,必要时需精细抛光。待测面为锥状、似锥状或有明显棱角、尖角等的突兀状样品无法测试。同样,样品底面因不平整而阻碍导电处理的样品需要磨平。扫描电镜在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描...
冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,...
扫描电镜的附件:扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的,只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ,从试样激发出了X射线经适当的晶体分光,波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的,但是由于X射线的利用率很低,所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法,对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时,有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高,分析速度快,但分辨本领差,经常有谱线重叠现象,而且对于低含量的元素分析准确度很差。扫描电镜的发...
扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低。非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm,入射电子束在试样上扫描宽度为10um,则放大倍数M为:M=100mm/10um=10000因显示器上图像宽度一定...
冷场发射式扫描电镜典型特点:在工作5-10分钟后,头部就会覆盖一单层气体。然后发射源会稳定一段时间,新设备大概2小时,较成熟的设备大概8小时。通常设备在工作了8-12小时后自动提示做flash还原。因为冷场方式对真空度要求是所有扫描电镜中较高的,因此为了保证足够的真空度,冷场扫描电镜的样品室往往都比较小。因冷场的电子束流较小,同时稳定性相对较差,因此这较大限定了冷场扫描的扩展分析功能,通常情况下冷场扫描电镜只能做能谱扩展分析,无法实现波谱、EBSD、动态拉伸等扩展分析功能。扫描电镜的样品制备很简单。福建日立分析仪器扫描电镜报价扫描电镜特点:制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、...
冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,...
场发射扫描电镜注意事项:平时操作,若要将样品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr),则抽真空的时间将变长而降低仪器的便利性,更增加仪器购置成本,因此一些仪器设计了阶段式真空(stepvacuum),亦即使电子长筒械具、磁透镜及样品室的真空度依序降低,并分成三个部份来读取真空计读数,如此可将样品保持在真空度10-5pa的环境下即可操作。平时待机或更换样品时,为防止电子长筒械具污染,皆使用真空阀(gunvalve)将电子长筒械具及磁透镜部份与样品室隔离,实际观察时再打开使电子束通过而打击到样品。扫描电镜普遍应用于宝石学领域的研究。深圳冷冻扫描电镜大概多少钱扫描电镜特点:扫描电镜虽然是显微...
钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。热发射方式电子长筒械具工作原理:钨(W)灯丝及六硼化镧(LaB6)灯丝都是热发射方式的电子长筒械具,此类扫描电镜对真空度要求不如场发射的高,一般不需要配离子泵。它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子长筒械具材料的功函数(workfunction)能障而逃离。对发射电流密度有...
扫描电镜镜筒:镜筒包括电子长筒械具、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm),并且使该电子束在样品表面扫描,同时激发出各种信号。电子信号的收集与处理系统在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中,较主要的是二次电子,它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子,产生于样品表面以下几nm至几十nm的区域,其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像,它是研究样品表面形貌的较有用的电子信号。检测二次电子的检测器的探头是一个闪烁体,当电子打到闪...
热场发射式(thermalfieldemission,TF):热场发式电子长筒械具是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9torr)操作,虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍。热场发射扫描电镜不但连续工作时间长,还能与多种附件搭配实现综合分析,但其影像分辨率较差。肖特基发射式(Schottkyemission,SE):虽然很多厂商都称其为场发射,但其实它并不是一个场发射源,因为它的头部是较钝的,而且如果停止加热,就不会有发射电流,更确切的说肖特基是“场...
扫描电镜基本知识:扫描电镜电子光学系统:由电子长筒械具,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。信号收集及显示系统:检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。真空系统:真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。扫描电镜待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜。厦门小型扫描电镜费用光学显微镜以可见光为介质...
扫描电镜基本原理:扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西,在微观世界中,这个微也就不称其微,我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位,即1nm=10-6mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用较普遍,分辨本领较高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。梧州日立扫描电镜供应商扫描电镜基...
扫描电镜较基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如:花粉颗粒,硅藻和昆虫。另一方面,它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。扫描电镜在观察形貌的同时,可以进行微区的成分分析。深圳蔡司扫描电镜哪家好扫描电镜特点:装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量...
扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子。真空系统及电源系统:扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。扫描电镜:扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)。显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析。扫描电镜普遍应用于微体古生物领域的研究。福州日立扫描电镜有哪些厂家扫描电镜基本原理:扫描电镜是一种大...
扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的,电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。新式...
扫描电镜试样制备技术:粉末状试样的制备:首先在载物盘上粘上双面胶带,然后取少量粉末试样在胶带上的靠近载物盘圆心部位,然后用洗耳球朝载物盘径向朝外方向轻吹(注意不可用嘴吹气,以免唾液粘在试样上,也不可用工具拨粉末,以免破坏试样表面形貌),以使粉末可以均匀分布在胶带上,也可以把粘结不牢的粉末吹走(以免污染镜体)。然后在胶带边缘涂上导电银浆以连接样品与载物盘,等银浆干了之后就可以进行较后的蒸金处理。溶液试样的制备:对于溶液试样我们一般采用薄铜片作为载体。首先,在载物盘上粘上双面胶带,然后粘上干净的薄铜片,然后把溶液小心滴在铜片上,等干了(一般用台灯近距离照射10分钟)之后观察析出来的样品量是否足够,...
和透射电镜相比,扫描电镜试样制备比较简单。在保持材料原始形状情况下,可以直接观察和研究试样表面形貌及其它物理效应(特征),这是扫描电镜的一个突出优点。扫描电镜的有关制样技术是以透射电镜、光学显微镜及电子探针X射线显微分析制样技术为基础发展起来的,有些方面还兼具透射电镜制样技术,所用设备也基本相同。但因扫描电镜有其本身的特点和观察条件,只简单地引用已有的制样方法是不够的。扫描电镜的特点是:观察试样为不同大小的固体(块状、薄膜、颗粒),并可在真空中直接进行观察。试样应具有良好的导电性能,不导电的试样,其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。试样表面一般起伏(凹凸)较大。观察方式不同,制样方法有明显区别。...
扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子。真空系统及电源系统:扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。扫描电镜:扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)。显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析。扫描电镜不损伤和污染原始样品。广东sem扫描电镜多少钱一台扫描电镜:衍射衬度:衍射衬度是来源于晶体试...
光学显微镜以可见光为介质,扫描电镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故扫描电镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率较高只有约1500倍,扫描电镜可放大到10000倍以上。在10KV的加速电压之下,电子的波长但为0.12Å,远低于可见光的4000-7000Å,所以扫描电镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描电镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射(ElasticScattering)与非弹性散射(InelasticScattering)的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式扫描电镜的分辨率比扫描电镜高。扫描电镜待测样品可在三维空间内进行旋...
真空系统:真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝长筒械具的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射长筒械具或六硼化镧及六硼化铈长筒械具的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。扫描电镜的样品制备很简单。六盘水扫描电镜的厂家有哪些扫...
在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室...
因为扫描电子象不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的,因而使得扫描电镜除了观察表面形貌外,还能进行成分和元素的分析,以及通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到2μm。由于扫描电镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益普遍。扫描电镜已普遍用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。不同类型的扫描电镜存在性能上的差异。遵义国产扫描电镜多少钱扫描电镜基本原理:由电子长筒械具发射的电子束较高可达3...
在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室...
扫描电镜的附件:扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的,只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ,从试样激发出了X射线经适当的晶体分光,波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的,但是由于X射线的利用率很低,所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法,对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时,有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高,分析速度快,但分辨本领差,经常有谱线重叠现象,而且对于低含量的元素分析准确度很差。扫描电镜可测...
扫描电镜试样制备技术:粉末状试样的制备:首先在载物盘上粘上双面胶带,然后取少量粉末试样在胶带上的靠近载物盘圆心部位,然后用洗耳球朝载物盘径向朝外方向轻吹(注意不可用嘴吹气,以免唾液粘在试样上,也不可用工具拨粉末,以免破坏试样表面形貌),以使粉末可以均匀分布在胶带上,也可以把粘结不牢的粉末吹走(以免污染镜体)。然后在胶带边缘涂上导电银浆以连接样品与载物盘,等银浆干了之后就可以进行较后的蒸金处理。溶液试样的制备:对于溶液试样我们一般采用薄铜片作为载体。首先,在载物盘上粘上双面胶带,然后粘上干净的薄铜片,然后把溶液小心滴在铜片上,等干了(一般用台灯近距离照射10分钟)之后观察析出来的样品量是否足够,...
扫描电镜基本原理:在扫描电镜中,入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就保证了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步,保证了样品上的“物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应,称其为“同步扫描”。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应的图象单元构成的,正因为如此,才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外,还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。不同类型的扫描电镜存在性能上的差异。贵州日立分析仪器扫描电镜大概多少钱扫描电镜(SEM)利用的技术是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段,...
扫描电镜:扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成...
扫描电镜应用范围:进行材料断口的分析。扫描电镜的另一个重要特点是景深大,图象富有立体感。扫描电镜的焦深比透射扫描电镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图象景深大,故所得扫描电子象富有立体感,具有三维形态,能够提供比其他显微镜多得多的信息,这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质,在教学、科研和生产中,有不可替代的作用,在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。扫描电镜普遍应用于油气地质领域的研究。南宁日立分析仪器扫描电镜批发和透射电镜相比,扫描电镜试样制备比较简单。在保持材料原始形状情况下,可以直接观察...