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扫描电镜基本参数
  • 品牌
  • 日立分析仪器,牛津仪器
  • 型号
  • 齐全
扫描电镜企业商机

扫描电镜:扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。江西日立扫描电镜批发

成像原理:扫描电镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子,其中二次电子是较主要的成像信号。为其成像原理图,高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。江西sem扫描电镜哪家好扫描电镜普遍应用于沉积学领域的研究。

肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K,它是在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层,ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV,而外加高电场更使电位障壁变窄变低,使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应),逃出针尖表面,所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳,而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小,但稍逊于冷场发射式电子长筒械具。其电子源直径比冷式大,所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。由于ZrO一直是覆在灯丝上的,因此肖特基的束流非常稳定,但较终ZrO耗尽时,灯丝的寿命也就到了,一般在2-3年。

扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的,电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。扫描电镜对信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。热发射方式电子长筒械具工作原理:钨(W)灯丝及六硼化镧(LaB6)灯丝都是热发射方式的电子长筒械具,此类扫描电镜对真空度要求不如场发射的高,一般不需要配离子泵。它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子长筒械具材料的功函数(workfunction)能障而逃离。对发射电流密度有重大影响的变量是温度和功函数,但因操作电子长筒械具时均希望能以较低的温度来操作,以减少材料的挥发,所以在操作温度不提高的状况下,就需采用低功函数的材料来提高发射电流密度。对于钨(W)灯丝及六硼化镧(LaB6)灯丝作为阴极材料的热发射式电子长筒械具,束斑尺寸增加,束斑电流增大,图像信噪比提高,但分辨率相对较低。扫描电镜在观察形貌的同时,可以进行微区的成分分析。江西日立扫描电镜批发

扫描电镜普遍应用于油气地质领域的研究。江西日立扫描电镜批发

扫描电镜:质厚衬度:质厚衬度是非晶体样品衬度的主要来源。样品不同微区存在原子序数和厚度的差异形成的。来源于电子的非相干散射,Z越高,产生散射的比例越大;d增加,将发生更多的散射。不同微区Z和d的差异,使进入物镜光阑并聚焦于像平面的散射电子I有差别,形成像的衬度。Z较高、样品较厚区域在屏上显示为较暗区域。图像上的衬度变化反映了样品相应区域的原子序数和厚度的变化。质厚衬度受物镜光阑孔径和加速V的影响。选择大孔径(较多散射电子参与成像),图像亮度增加,散射与非散射区域间的衬度降低。选择低电压(较多电子散射到光阑孔径外),衬度提高,亮度降低。支持膜法和萃取复型,质厚衬度图像比较直观。江西日立扫描电镜批发

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