扫描电镜的附件:扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的,只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ,从试样激发出了X射线经适当的晶体分光,波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的,但是由于X射线的利用率很低,所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法,对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时,有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高,分析速度快,但分辨本领差,经常有谱线重叠现象,而且对于低含量的元素分析准确度很差。扫描电镜的发展速度很快。贵阳蔡司扫描电镜制造商
扫描电镜基本原理:扫描电镜电子长筒械具发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源;点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点,在透过较后一级带有扫描线圈的电磁透镜后,电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面,同时激发出不同深度的电子信号。此时,电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收,通过放大器同步传送到电脑显示屏,形成实时成像记录(图a)。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子(AuE)、二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、X射线(特征X射线、连续X射线)、阴极荧光(CL)、吸收电子(AE)和透射电子(图b)。每种电子信号的用途因作用深度而异。贵阳蔡司扫描电镜制造商扫描电镜普遍应用于结晶学领域的研究。
扫描电镜主要是观察物体的表面形貌,能够直接观察样品表面的结构,也可以从各种角度对样品进行观察,样品制备过程简单。扫描电镜有普通扫描电镜、分析型扫描电镜和场发射长筒械具扫描电镜。扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
电子与样品的相互作用过程可分成弹性散射和非弹性散射过程两类。弹性散射与非弹性散射过程是同时发生的,前者使束电子偏离原来运动方向,并使电子在样品内部罗三,后者使电子能量逐渐减少直至被样品全部吸收,因此限制了电子束的扩散范围,电子束的能量完全沉积在扩散区内,同时产生大量可检测的二次辐射,这个区域称为相互作用区。相互作用区可以通过实验直接观察或由MonteCalro计算法得到。通常,电子束能量越强,电子入射深度越深,相互作用区越大。样品的原子序数越大,束电子在每走过单位距离所经受的弹性散射事件越多,其平均散射角度大,在样品中的穿透深度越浅。扫描电镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能。
真空系统:真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝长筒械具的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射长筒械具或六硼化镧及六硼化铈长筒械具的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。贵阳蔡司扫描电镜制造商
扫描电镜普遍应用于生命科学领域的微观研究。贵阳蔡司扫描电镜制造商
扫描电镜有一重要特色是具有超大的景深,约为光学显微镜的300倍,使得扫描电镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。扫描电镜,其系统设计由上而下,由电子长筒械具发射电子束,经过一组磁透镜聚焦聚焦后,用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收器,用以择取二次电子或背向散射电子成像。电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布要小,目前常用的种类计有三种,钨(W)灯丝、六硼化镧灯丝、场发射,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。贵阳蔡司扫描电镜制造商
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