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扫描电镜基本参数
  • 品牌
  • 日立分析仪器,牛津仪器
  • 型号
  • 齐全
扫描电镜企业商机

在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。扫描电镜成像直观、立体感强。贵州进口扫描电镜哪家好

扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的,电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。贵州进口扫描电镜哪家好扫描电镜是显微镜家族中的后起之秀。

光学显微镜以可见光为介质,扫描电镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故扫描电镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率较高只有约1500倍,扫描电镜可放大到10000倍以上。在10KV的加速电压之下,电子的波长但为0.12Å,远低于可见光的4000-7000Å,所以扫描电镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描电镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射(ElasticScattering)与非弹性散射(InelasticScattering)的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式扫描电镜的分辨率比扫描电镜高。

冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,此外,他的发射的总电流较小,但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子,金属表面必需完全干净,无任何外来材料的原子或分子在其表面,即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射,所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度,来防止钨阴极表面累积原子。扫描电镜放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调。

扫描电镜基本原理:扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西,在微观世界中,这个微也就不称其微,我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位,即1nm=10-6mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用较普遍,分辨本领较高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。扫描电镜普遍应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。贵州进口扫描电镜哪家好

扫描电镜在电子扫描中,把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。贵州进口扫描电镜哪家好

扫描电镜的附件:扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的,只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ,从试样激发出了X射线经适当的晶体分光,波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的,但是由于X射线的利用率很低,所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法,对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时,有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高,分析速度快,但分辨本领差,经常有谱线重叠现象,而且对于低含量的元素分析准确度很差。贵州进口扫描电镜哪家好

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