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扫描电镜基本参数
  • 品牌
  • 日立分析仪器,牛津仪器
  • 型号
  • 齐全
扫描电镜企业商机

场发射扫描电镜:场发射式电子长筒械具则比钨灯丝和六硼化镧灯丝的亮度又分别高出10-100倍,放大倍率由25倍到650000倍,同时电子能量散布但为0.2-0.3eV,在使用加速电压15kV时,分辨率可达到1nm,加速电压1kV时,分辨率可达到2.2nm,所以目前市售的高分辨率扫描电镜都采用场发射式电子长筒械具,一般钨丝型的扫描电镜仪器上的放大倍率可到200000倍,实际操作时,大部份均在20000倍时影像便不清楚了,但如果样品的表面形貌及导电度合适,较大倍率650000倍是可以达成的。扫描电镜可以观察试样的各个区域的细节。广东赛默飞扫描电镜价格是多少

扫描电镜仪器结构:产生高能电子束的镜筒,包括:电子长筒械具、电磁透镜和扫描线圈;接收并处理各种电子信号的成像系统:扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器;记录电子图像的信息记录系统:摄像头、图像分析器和记录设备;作为电子束与样品作用载体的真空系统:样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置;调控扫描电镜外部环境的电源系统:不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和单独地线。广东赛默飞扫描电镜价格是多少扫描电镜可测样品种类丰富。

在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。

扫描电镜(SEM)是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用。因此扫描电镜在科学研究领域具有重大作用。扫描电镜普遍应用于司法领域。

肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K,它是在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层,ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV,而外加高电场更使电位障壁变窄变低,使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应),逃出针尖表面,所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳,而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小,但稍逊于冷场发射式电子长筒械具。其电子源直径比冷式大,所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。由于ZrO一直是覆在灯丝上的,因此肖特基的束流非常稳定,但较终ZrO耗尽时,灯丝的寿命也就到了,一般在2-3年。扫描电镜可以根据需要选择大小不同的视场进行观察。广东赛默飞扫描电镜价格是多少

扫描电镜的样品制备很简单。广东赛默飞扫描电镜价格是多少

扫描电镜的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。扫描电镜的特点:和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。样品制备过程简单,不用切成薄片。样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。广东赛默飞扫描电镜价格是多少

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