铝膜湿法刻蚀:对于铝和铝合金层有选择性的刻蚀溶液是居于磷酸的。遗憾的是,铝和磷酸反应的副产物是微小的氢气泡。这些气泡附着在晶圆表面,并阻碍刻蚀反应。结果既可能产生导致相邻引线短路的铝桥连,又可能在表面...
刻蚀较简单较常用分类主要是:干法刻蚀和湿法刻蚀。显而易见,它们的区别就在于湿法使用溶剂或溶液来进行刻蚀。湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽...
材料刻蚀是一种重要的微纳加工技术,广泛应用于半导体、光电子、生物医学等领域。刻蚀工艺参数的选择对于刻蚀质量和效率具有重要影响,下面是一些常见的刻蚀工艺参数:1.刻蚀气体:刻蚀气体的选择取决于材料的性质...
刻蚀较简单较常用分类主要是:干法刻蚀和湿法刻蚀。显而易见,它们的区别就在于湿法使用溶剂或溶液来进行刻蚀。湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽...
随着功能的复杂,不只结构变得更繁复,技术要求也越来越高。与建筑物不一样的地方,除了尺寸外,就是建筑物是一栋一栋地盖,半导体技术则是在同一片芯片或同一批生产过程中,同时制作数百万个到数亿个组件,而且要求...
半导体技术很大的应用是集成电路(IC),举凡计算机、手机、各种电器与信息产品中,一定有 IC 存在,它们被用来发挥各式各样的控制功能,有如人体中的大脑与神经。如果把计算机打开,除了一些线路外,还会看到...
半导体技术快速发展:尽管有种种挑战,半导体技术还是不断地往前进步。分析其主要原因,总括来说有下列几项。先天上,硅这个元素和相关的化合物性质非常好,包括物理、化学及电方面的特性。利用硅及相关材料组成的所...
微纳加工的技术挑战:虽然微纳加工在各个领域都有广泛的应用,但是在实际应用中还存在一些技术挑战,下面将介绍其中的几个主要挑战。加工材料:微纳加工的加工材料也是一个挑战,特别是对于一些难加工材料,如硅、金...
硅材料在MEMS器件当中是很重要的一种材料。在硅材料刻蚀当中,应用于医美方向的硅针刻蚀需要用到各向同性刻蚀,纵向和横向同时刻蚀,硅柱的刻蚀需要用到各项异性刻蚀,主要是在垂直方向刻蚀,而横向尽量少刻蚀。...
微纳加工具有许多优势,以下是其中的一些:低成本:微纳加工技术可以实现高效、自动化的制造过程,从而降低起制造成本。相比传统的制造技术,微纳加工可以减少人工操作和材料浪费,提高生产效率和产品质量,降低其制...
磁控溅射技术是一种常用的薄膜制备技术,其在电子产品制造中有着广泛的应用。其中,更为特殊的应用是在显示器制造中的应用。在显示器制造中,磁控溅射技术可以用于制备透明导电膜和色彩滤光膜。透明导电膜是显示器中...
磁控溅射是一种利用磁场控制离子束方向的溅射技术,可以在生物医学领域中应用于多个方面。首先,磁控溅射可以用于生物医学材料的制备。例如,可以利用磁控溅射技术制备具有特定表面性质的生物医学材料,如表面具有生...