在电子束曝光工艺优化方面,研究所聚焦曝光效率与图形质量的平衡问题。针对传统电子束曝光速度较慢的局限,科研人员通过分区曝光策略与参数预设方案,在保证图形精度的前提下,提升了 6 英寸晶圆的曝光效率。利用...
电子束曝光实现空间太阳能电站突破。砷化镓电池阵表面构建蛾眼减反结构,AM0条件下光电转化效率达40%。轻量化碳化硅支撑框架通过桁架拓扑优化,面密度降至0.8kg/m²。在轨测试数据显示1m²模块输出功...
研究所针对电子束曝光在大面积晶圆上的均匀性问题开展研究。由于电子束在扫描过程中可能出现能量衰减,6 英寸晶圆边缘的图形质量有时会与中心区域存在差异,科研团队通过分区校准曝光剂量的方式,改善了晶圆面内的...
电子束曝光解决微型燃料电池质子传导效率难题。石墨烯质子交换膜表面设计螺旋微肋条通道,降低质传阻力同时增强水管理能力。纳米锥阵列催化剂载体使铂原子利用率达80%,较商业产品提升5倍。在5cm²微型电堆中...
电子束曝光实现智慧农业传感器可持续制造。基于聚乳酸的可降解电路板通过仿生叶脉布线优化结构强度,6个月自然降解率达98%。多孔微腔湿度传感单元实现±0.5%RH精度,土壤氮磷钾浓度检测限达0.1ppm。...
全固态电池晶圆键合解除安全魔咒。硫化物电解质-电极薄膜键合构建三维离子高速公路,界面阻抗降至3Ω·cm²。固态扩散反应抑制锂枝晶生长,通过150℃热失控测试。特斯拉4680电池样品验证,循环寿命超50...
研究所利用多平台协同优势,对晶圆键合后的器件可靠性进行多维评估。在环境测试平台中,键合后的器件需经受高低温循环、湿度老化等一系列可靠性试验,以检验界面结合的长期稳定性。科研人员通过监测试验过程中器件电...
对于可修复的微小缺陷,通过局部二次曝光的方式进行修正,提高了图形的合格率。在 6 英寸晶圆的中试实验中,这种缺陷修复技术使无效区域的比例降低了一定程度,提升了电子束曝光的材料利用率。研究所将电子束曝光...
研究所利用多平台协同优势,对晶圆键合后的器件可靠性进行多维评估。在环境测试平台中,键合后的器件需经受高低温循环、湿度老化等一系列可靠性试验,以检验界面结合的长期稳定性。科研人员通过监测试验过程中器件电...
电子束曝光在量子计算领域实现离子阱精密制造突破。氧化铝基板表面形成共面波导微波馈电网络,微波场操控精度达μK量级。三明治电极结构配合双光子聚合抗蚀剂,使三维势阱定位误差<10nm。在40Ca⁺离子操控...
晶圆键合定义智能嗅觉新榜样。64通道MOF传感阵列识别1000种气味,肺病呼气筛查准确率98%。石油化工应用中预警硫化氢泄漏,响应速度快于传统探测器60秒。深度学习算法实现食品等级判定,超市损耗率...
研究所将电子束曝光技术应用于生物传感器的微纳电极制备中,探索其在跨学科领域的应用。生物传感器的电极尺寸与间距会影响检测灵敏度,科研团队通过电子束曝光制备纳米级间隙的电极对,研究间隙尺寸与生物分子检测信...