探针台由哪些部分组成？样品台（载物台）：是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件：这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针尖锐端对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜，有的采用数码相机，或者两者兼有。卡盘：有一个非常平坦的金属表面，... 【查看详情】

手动探针台：普遍应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能：搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IVCV脉冲/动态IV等参数。用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗... 【查看详情】

下面我们来简单讲讲选择探针台设备时需要注意事项：一、机械加工精度；二、电学量测精度三、环境要求，如：真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像；五、自动化控制精度。总体而言，具有清晰并高景深的微观成像，再通过准确的探针装置对探针进行多方向移动，对准量测点，进行信号加载，通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表，以达到所需得到... 【查看详情】

晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数：垂直或面内磁场探针台，通用性设计；容纳12寸晶圆，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4组探针（RF或DC测试）；提供Z轴探针平台快速升降功能，实现高效测试；磁场强度≥330mT;直流探针（4组）或微波探针（4组）；XY电控行程±150mm，调节精度2μm；T轴手动调节±5°，小至调节精度5’。晶圆级半自动... 【查看详情】

探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座... 【查看详情】

光学平台重要的作用是提供动态刚度，光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。这些相对运动产生于桌面上搭建的设备、空气调节(HVAC)系统以及其他声音来源。削减这些振动的佳方案是在来源处即行隔绝，比如在设备与桌面间放置柔性垫、为排气管增加挡板或使用隔声罩。调整架的位移由一个不产生任何质量效应的激光测振仪来测量，实验使用主动阻尼光... 【查看详情】

光学平台普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定（静态）力的情况下，柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力（振动）的情况下，柔量则可以定义为受激振幅（角度或线性错位）与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此，根据定义，柔量值越小，光学平台就越接近设计的首要目标：将挠度... 【查看详情】

密封平台显微镜设备用户应采取接触固定的方法并予以充分的保护,要确保加工面与玻璃的接触面积大于5mm，而不应是所有光学平台显微镜本身就不能再进行其他的玻璃保护处理。用户一方面要保护好产品,一方面要保证安全拿人开刀才是很危险的事小尺寸全硬板状的平板显微镜工作时应该很结实,目视效果比小型的锥形led平板显微镜好，如果承受不住用手轻轻碰撞,需要在... 【查看详情】

需要注意的是，光学平台尽管提供了相对稳定的环境，但不能完全阻止来自桌面本身的振动，从而影响桌面上的其他设备。光学元件的形变是系统不稳定的第二大来源。即使将光学平台视作刚体，该刚体的固有振动依然会触发光学调整架的自然振动，导致光路不稳定。为了定量模拟光学调整架在典型实验室环境中可能产生的位移，我们将1英寸调整架固定于6英寸镜柱上，并在光学平... 【查看详情】

在使用光学实验平台时，所有光学玻璃器件应保持清洁，避免各种污染，所有光学玻璃器件应保持清洁，避免各种污染，保持清洁使用时注意防尘防震;不要对着仪器说话、防尘、使用时注意防尘、防震;不要对着仪器说话、咳嗽等;测童时动作要轻缓，尽里使身体部位离开实测里时动作要轻验台面，以防震动:所用的光学元件比较精密，验台面，以防震动;所用的光学元件比较精密... 【查看详情】

使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力，并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。探测器发出的信号通过分析仪进行读取，并用于产生频率响应谱（即柔量曲线）。在光学平台的研发过程中，对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录；但是，平台四个角上的柔量往往都是大的。因此公司发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得... 【查看详情】

探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25℃，相对湿度小于50％的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃，气压为0．4±0．04MPa。相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部... 【查看详情】