等离子体技术大范围应用于芯片制造、新材料、环保产业、医学、农业、新能源等领域,是这些领域技术升级的重要方向。但是,国内外等离子体技术的研究及产业化力量处于极为分散状态,缺乏集中进行的主要技术产业化的孵化平台及机制。为此,由数位国家重点人才工程**,复旦大学、浙江大学、南京大学、东南大学、苏州大学、南京工业大学、常州大学、等科研团队及产业化平台,十余家相关产业配套企业共同组建“先进等离子体技术研究院”(法人单位:江苏先竞等离子体技术研究院有限公司)
气相沉积设备是实现高质量薄膜制备的主要工具,它集成了先进的真空技术、精密控制系统和高效的沉积工艺。通过精确控制沉积过程中的温度、压力和气氛,设备能够制备出均匀、致密的薄膜材料。 气相沉积设备...