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气相沉积技术在多个领域中发挥着重要作用。在半导体行业,CVD被广用于制造集成电路中的绝缘层、导电层和半导体材料,如硅、氮化硅和氧化铝等。此外,气相沉积还被应用于光伏材料的制备,如薄膜太阳能电池中的Cd...