等离子体炬设计参数高频等离子体炬采用复合谐振回路设计,工作频率2-10MHz,功率密度达5×10⁶W/m³。其冷却系统采用双循环水冷结构,内循环水流量15L/min,外循环水流量60L/min,确保电...
气体保护与杂质控制设备配备高纯度氩气循环系统,氧含量≤10ppm,避免粉末氧化。反应室采用真空抽气与气体置换技术,进一步降低杂质含量。例如,在钼粉球化过程中,氧含量从原料的0.3%降至0.02%,满足...
气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是一种广泛应用于材料科学和半导体制造的薄膜沉积技术。其基本原理是通过化学反应将气态前驱体转化为固态材料,并在基材表面形成薄膜。气...
在等离子体碳基产品的制备中,选择合适的原材料至关重要。常用的碳源气体包括甲烷、乙烯和丙烯等,这些气体在等离子体中能够有效地分解并形成碳原子。此外,添加适量的氢气或氮气可以调节等离子体的化学环境,从而影...
能源领域:等离子体电源在能源转换方面有着巨大的潜力。例如,在太阳能电池领域,利用等离子体对电池表面进行处理,可以提高其光电转换效率。此外,等离子体电源还可以用于燃料电池等新能源技术的研发和应用。科学研...
气体系统作用等离子体球化设备的气体系统包括工作气、保护气和载气。工作气用于产生等离子体炬焰,其种类和流量对焰炬温度有重要影响。保护气用于使反应室与外界气氛隔绝,防止粉末氧化。载气用于将粉末送入等离子体...
尽管等离子体碳基产品制备设备在技术上取得了明显进展,但仍面临一些挑战。首先,设备的能耗和生产成本仍然较高,限制了其在大规模生产中的应用。其次,如何进一步提高产品的一致性和可控性也是当前研究的热点。此外...
典型设备包含六个中心子系统:等离子体发生源(微波/射频/直流)、真空反应腔体、气体输送与配比系统、基底温控台、电源与匹配网络、尾气处理装置。其中等离子体源决定技术路线——微波等离子体化学气相沉积(MP...
在等离子体碳基产品的制备过程中,工艺参数的优化至关重要。主要参数包括气体流量、功率、压力和反应时间等。气体流量直接影响等离子体的稳定性和反应速率,过高或过低的流量都会导致产品质量的波动。功率的调节则决...
直流等离子体源在大气压条件下可以稳定放电,通过改变功率和气体流速等参数可以有效控制碳纳米材料的生长方向,得到具有特殊性质的碳纳米柱或石墨烯墙.电子回旋共振等离子源有较好的稳定性,处理时几乎不会引入杂质...
等离子体碳基产品制备设备以低温等离子体技术为中心,通过高频电场或射频能量激发惰性气体(如氩气、氮气)形成高能等离子体,再将碳源(如甲烷、乙炔、生物质炭粉)引入等离子体反应腔。高能等离子体中的活性粒子(...
等离子体球化与粉末的光学性能对于一些光学材料粉末,如氧化铝、氧化锆等,等离子体球化过程可能会影响其光学性能。例如,球化后的粉末颗粒表面更加光滑,减少了光的散射,提高了粉末的透光性。通过控制球化工艺参数...