在半导体刻蚀设备中,刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源,等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此,刻蚀机腔室材料的选用尤为重要。当前,主要采用高纯Al₂O₃涂层或...
晶圆搬运手臂(CeramicWaferHands), 由陶瓷材料氧化铝、碳化硅或树脂制作而成,用于机器人将硅晶片从盒子或处理室中取出和放入时使用。使用陶瓷材料的原因是为了减少由于**度搬运...
一、半导体加工的介绍 半导体产品要求非常洁净,要做到无污染。在生产半导体产品时,对环境要求很高,一般都在严格要求的无尘车间,生产人员要穿防静电服。半导体产品是非常精细的产品,有些产品厚度超薄...
陶瓷机械手臂 在**半导体设备里陶瓷机械手臂又称陶瓷搬运臂,顾名思义,陶瓷机械手臂在半导体设备中起到搬运作用,它相当于半导体设备这个机器人的手,负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。 因为...
陶瓷搬运臂,又称末端执行器、陶瓷机械手等,它构成机械臂的顶部,用于在位置之间处理和移动半导体晶片。 我们生活在科技日益发达的年代,半导体行业在三百六十行中占据的位置越来越广阔,产业链也已经...
陶瓷吸盘的优点 陶瓷真空吸盘具有以下优点: 1、防止吸收轨迹毛孔的均匀分布(孔隙度为40%左右)和微小的孔径大小,使物体上的吸收孔径没有痕迹,这是不可避免的与现有的铝真空夹头。因此...
真空吸盘真空吸盘**早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的,这种真空吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出,晶圆由于负压被吸附在吸盘表面,从而...
国内晶圆制造中需要大量用到晶圆传送真空机械手吗? (半导体设备前置模块)从属于半导体生产设备,其内部主要由化学蒸汽过滤器、空气过滤器、离子发生器、晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆载运盒、...
洁净材料 晶圆搬运系统需选择合适的材料及表面处理方法,来降低对洁净环境的污染。洁净机器人的常用材料有如下几个类别:不锈钢有良好的洁净度,耐腐蚀,硬度高,热膨胀小。但与铝相比成本高,且因密度大...
2、注浆成型法: 注浆成型是氧化铝陶瓷使用**早的成型方法。由于采用石膏模、成本低且易于成型大尺寸、外形复杂的部件。注浆成型的关键是氧化铝浆料的制备。通常以水为熔剂介质,再加入解胶剂与粘结...
本报告研究中国市场半导体晶圆用搬运手臂的生产、消费及进出口情况,重点关注在中国市场扮演重要角色的全球及本土半导体晶圆用搬运手臂生产商,呈现这些厂商在中国市场的半导体晶圆用搬运手臂销量、收入、价格、...
氧化锆陶瓷的特征 氧化锆由天然矿物如Baddeleyite(氧化锆)或硅酸锆砂制成。 那么下面鑫腾辉数控小编给大家分享有关于氧化锆陶瓷的特征 1.高密度——高达380lb/ft³...