目前成熟的静电吸盘技术主要根据不同的吸附力类型分为J-R型静电吸盘及库仑力型静电吸盘。而无论是J-R型静电吸盘还是库仑力型静电吸盘的主体结构都是三部分:电介质吸附层、电极层、基底层,三部分都以层状结构...
微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、平面度、高平整度,及吸附能力非常强等特点,广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。Fountyl加工的微孔陶瓷的主要特点:平面度、平行度好、组织致密均匀、强度高、通...