借鉴空间站“双波长激光加热”原理,国瑞热控开发半导体激光加热盘,适配极端高温材料制备!采用氮化铝陶瓷基体嵌入激光吸收层,表面可承受3000℃以上局部高温,配合半导体激光与二氧化碳激光协同加热,实现“表面强攻+内部渗透”的加热效果!加热区域直径可在10mm-200mm间调节,温度响应时间小于1秒,控温精度±1℃,支持脉冲式加热模式!设备配备...
查看详细 >>电控晶圆加热盘:半导体工艺的准确温控重点!无锡国瑞热控的电控晶圆加热盘,以创新结构设计解释半导体制造的温控难题!其底盘内置螺旋状发热电缆与均温膜,通过热量传导路径优化,使加热面均温性达到行业高标准,确保晶圆表面温度分布均匀,为光刻胶涂布等关键工艺提供稳定环境!搭配高精度温度传感器与限温开关,温度波动可控制在极小范围,适配6英寸至12英寸不...
查看详细 >>针对碳化硅衬底生长的高温需求,国瑞热控**加热盘采用多加热器分区布局技术,**温度梯度可控性差的行业难题!加热盘主体选用耐高温石墨基材,表面喷涂碳化硅涂层,在2200℃高温下仍保持结构稳定,热导率达180W/mK,适配PVT法、TSSG法等主流生长工艺!内部划分12个**温控区域,每个区域控温精度达±2℃,通过精细调节温度梯度控制晶体生长...
查看详细 >>国瑞热控半导体封装加热盘,聚焦芯片封装环节的加热需求,为键合、塑封等工艺提供稳定热源!采用铝合金与云母复合结构,兼具轻质特性与优良绝缘性能,加热面功率密度可根据封装规格调整,比较高达2W/CM²!通过优化加热元件排布,使封装区域温度均匀性达95%以上,确保焊料均匀熔融与键合强度稳定!设备配备快速响应温控系统,从室温升至250℃*需8分钟,...
查看详细 >>为解决加热盘长期使用后的温度漂移问题,国瑞热控开发**校准模块,成为半导体生产线的精度保障利器!模块采用铂电阻与热电偶双传感设计,测温精度达±0.05℃,可覆盖室温至800℃全温度范围,适配不同材质加热盘的校准需求!配备便携式数据采集终端,支持实时显示温度分布曲线与偏差分析,数据可通过USB导出形成校准报告!校准过程无需拆卸加热盘,通过磁...
查看详细 >>国瑞热控氮化铝陶瓷加热盘以99.5%高纯氮化铝为基材,通过干压成型与1800℃高温烧结工艺制成,完美适配半导体高温工艺需求!其热导率可达220W/mK,热膨胀系数*4.03×10⁻⁶/℃,与硅晶圆热特性高度匹配,有效避免高温下因热应力导致的晶圆翘曲!内部嵌入钨制加热元件,经共烧工艺实现紧密结合,加热面温度均匀性控制在±1℃以内,工作温度上...
查看详细 >>国瑞热控针对离子注入后杂质***工艺,开发**加热盘适配快速热退火需求!采用氮化铝陶瓷基材,热导率达200W/mK,热惯性小,升温速率达60℃/秒,可在几秒内将晶圆加热至1000℃,且降温速率达40℃/秒,减少热预算对晶圆的影响!加热面采用激光打孔工艺制作微小散热孔,配合背面惰性气体冷却,实现晶圆正反面温度均匀(温差小于2℃)!配备红外高...
查看详细 >>针对碳化硅衬底生长的高温需求,国瑞热控**加热盘采用多加热器分区布局技术,**温度梯度可控性差的行业难题!加热盘主体选用耐高温石墨基材,表面喷涂碳化硅涂层,在2200℃高温下仍保持结构稳定,热导率达180W/mK,适配PVT法、TSSG法等主流生长工艺!内部划分12个**温控区域,每个区域控温精度达±2℃,通过精细调节温度梯度控制晶体生长...
查看详细 >>国瑞热控不锈钢加热板针对腐蚀性工业环境设计,采用 316L 超级不锈钢材质,具备极强的耐酸碱、耐盐雾腐蚀性能,可在化工、半导体清洗等腐蚀性场景中长期使用。产品内置高纯度镍铬发热丝,采用氧化镁粉绝缘填充,经高温压制而成,确保发热均匀且绝缘可靠。其工作原理是发热丝通电后产生热量,通过不锈钢外壳快速传导,同时外壳表面经过抛光处理,减少污垢附着,...
查看详细 >>国瑞热控硅胶加热板以耐高温硅胶为基材,内置镍铬合金发热丝或碳纤维发热体,通过压延复合工艺制成,具备良好的柔性与贴合性。其工作原理是发热体通电后均匀发热,硅胶基材将热量快速传递至被加热表面,同时可根据被加热物体的形状进行弯曲贴合,实现紧密加热。产品厚度只 0.5-3mm,重量轻,安装方便,可通过背胶粘贴或机械固定方式安装于设备表面。硅胶材质...
查看详细 >>国瑞热控凭借 20 年电热材料研发制造经验,打造涵盖半导体晶圆加热盘、PTC 加热板、不锈钢加热板等全系列产品,优势在于 “一体化解决方案能力” 与 “深厚技术背书”。针对环保、新能源、半导体、航天通信等多行业的差异化需求,公司可提供从产品定制设计、生产制造到安装调试的全流程服务,根据客户设备参数、工作环境、工艺要求,量身打造专属热控方案...
查看详细 >>在化工、食品加工等腐蚀性环境中,加热设备的耐腐蚀性至关重要。国瑞热控的不锈钢加热板,采用品质高的不锈钢材料,具有优异的耐腐蚀性能,能在恶劣环境中长期稳定运行。同时,其坚固耐用的特点也延长了设备使用寿命,降低了维护成本。在需要快速升温的场合,陶瓷加热板展现出其独特优势。国瑞热控的陶瓷加热板,采用高导热性陶瓷材料,能迅速将电能转化为热能,实现...
查看详细 >>