半导体超精密真空卡盘

通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025µm，加工变质层很小，表面质量高。精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。但精密研磨的效率较低（如干研速度一般为10 - 30m/min，湿研速度为20 - 120m/min），对加工环境要求严格，如有大磨料或异物混入时，将使表面产生很难去除的划伤。抛光是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。手工或机械抛光是用涂有磨膏的抛光器，在一定的压力下，与工件表面做相对运动，以实现对工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05µm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的抛光加工，手工抛光的加工效果与操作者的熟练程度有关。超声波抛光是利用工具端面做超声振动，通过磨料悬浮液对硬脆材料进行光整加工。超精密加工是指在维持精细公差，并于工件上去除材料、精加工等过程。半导体超精密真空卡盘

为了缩小产品体积、提高产品性能，需要高精度的微型零件。为此需要较迄今为止更为精密细微的加工技术。环境、装置、设备、测量、测评、工具、材料、加工方法。本公司在推进研发时周全考虑超精密·细微加工的所有相关要素，可承接金属、树脂、陶瓷等各种材料的加工。在半导体树脂封装的模具制造过程中积累的超精密加工技术为兼顾产品小型化和高性能两方面的需求，要求制造用的模具和零件具有同样的高精度和微型化。本公司在长年积累的核心专利基础上，与机床生产商共同开发了自动化设备，实现了无人化加工。凭借先进的加工设备以及成熟的技术，实现超硬度材料的亚微米级加工，不仅可生产半导体及LED模具，更可为所有精密加工提供整体解决方案。曲面复合加工以R形曲面型腔为例，在超精密加工中，本公司通过有规则地配置切削、研削与放电这三种不同的加工工艺，可打造细致的花纹，并可将每个加工面的高度差控制在1μm以下。半导体超精密真空卡盘激光超精密加工的切割面光滑：激光切割的切割面无毛刺。

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油,加工后需要清洗，异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题：产生细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形，表面物性发生变化，周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题-热影响极小，可以局部打磨，异形件打磨，不需要化学药剂-细微裂纹极少化表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻画低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果）抛光后，[AOI（自动光学检查）]对孔不良进行检测（手动或自动）（光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。

精密加工听起来很遥远，其实与我们生活中非常贴近！像是前文有提到的航太、能源、医疗、半导体等产业都是因为有高精度的加工才能稳定成长。接下来也将跟你分享我们过去如何透过精密加工技术来成就这4个领域。 防卫产业侦查、爆破还是防御系统，都是不可或缺的领域，而这些都必须要有高质量的精密加工，才能稳定成就安全保卫的环节。像是侦查系统，就有光学感测、红外线感测、雷达、无线电传感器、声学等技术支援，且需要在极端气候如：沙漠、深海、极地地区保持良好的准确性，才能在紧要关头时侦测到敌方的一举一动。 能源产业不管是过往的天然气、火力发电，到近年来盛行的绿色能源都与精密加工密不可分！比如说太阳能、风电设备等，就非常需要耐用和可靠的零件和产品，才能稳定排放出废料，维持良好的电力输出。 半导体产业半导体产业在零件的要求不仅精度高，且还需大规模生产，才能创造出具有高创造性、竞争力的晶圆。半导体产业会运用精密加工的五轴CNC机床及车铣设备加工，到热处理、化学表面处理技术，任一工法缺一不可，才能拥有精密模组及零件也可以支援研发端在技术上有所突破，提升产品的竞争力！激光超精密加工可分为四类应用，分别是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面处理。

微泰，精湛的超精密加工技术，可达到微米级加工，充分考虑材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于3um零件精密加工的关键在于确保高水平的精度和质量，并确保与既定尺寸的偏差小实现。精密加工的半导体晶圆真空卡盘的平面度公差不超过3μm，并通过三维接触测量仪进行全数检查和系统质量的管材，为全球客户提供精密加工。铝（AL5052、AL6061、AL7075）、不锈钢（SUS304、SUS316、SUS630）。铜、钨、钛和蒙奈尔合金（MONEL）。处理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亚胺(PI)等材料，需要精密加工。使用高难度材料，如无氧高导铜(OFHC)制造半导体精密零件。激光超精密加工技术领域，全球有多家厂商参与竞争并提供各种不同类型的设备。主要厂商集中在亚洲、德国等。PCD超精密超精细

超精密激光切割技术已经被应用于精密电子、装饰、模具、手机数码、钣金和五金等行业。半导体超精密真空卡盘

超精密加工技术是指加工精度达到亚微米级甚至纳米级的制造技术，主要包括超精密车削、磨削、铣削和电化学加工等方法。这些方法能够实现对硬脆材料、难加工材料和功能材料的精确加工，适用于光学元件、微型机械、生物医疗器件等领域。常见的超精密加工方法有：1.超精密车削：使用金刚石刀具进行加工，能够实现对非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，适用于加工硬质合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密铣削：利用金刚石或立方氮化硼刀具，适用于复杂形状零件的高精度加工。4.超精密电化学加工：通过电解作用去除材料，适用于加工微细、复杂结构的零件。超精密加工技术的发展对提高我国制造业的国际竞争力具有重要意义。半导体超精密真空卡盘