半导体超精密研磨

激光钻孔是一种非接触式孔加工工艺，使用高度集中的光束在从金属到非金属和聚合物等各种材料上钻孔。利用高功率激光脉冲或摆动钻孔技术，激光钻孔可以穿透较薄或较厚的材料。激光钻孔系统既能进行点射钻孔，也能进行即时钻孔，以减少对系统运动的干扰。激光钻孔具有高度精确性和可重复性，几乎能钻出任何形状和尺寸的孔，直径小至几微米，分辨率较高。作为一种非接触式工艺，激光钻孔是制造深度直径比超过10:1的低锥度、高剖面比孔的方法之一。根据材料特性，激光钻孔每秒可钻数百甚至数千个孔。精密轴承的滚道通过超精密加工实现微米级圆度，降低运转噪音与能耗。半导体超精密研磨

超精密加工技术具有多个特点，这些特点使得它在高精度、高质量要求的制造领域中占据重要地位。以下是超精密加工的主要特点：1.高精度：超精密加工技术能够实现极高的加工精度，通常可以达到微米级甚至纳米级。这种高精度加工能力满足了航空、航天、精密仪器等领域对高精度零件的需求。通过采用先进的加工设备和工艺方法，超精密加工能够精确控制零件的尺寸精度和形位精度。2.高表面质量：超精密加工技术不仅关注零件的尺寸精度，还重视零件的表面质量。通过优化加工参数和工艺方法，超精密加工能够获得具有极低表面粗糙度和高度一致性的零件表面。这种高表面质量的零件在光学、电子、医疗器械等领域具有应用。3.“进化”加工：在超精密加工过程中，有时可以利用低于工件精度的设备、工具，通过工艺手段和特殊的工艺装备，加工出精度高于“母机”的工作母机或工件。这种“进化”加工能力体现了超精密加工技术的独特优势。4.高灵活性：超精密加工技术具有***的适用性，可以与多种材料和多种加工工艺相结合。这种灵活性使得超精密加工能够适应不同形状、尺寸和材料的零件加工需求，满足不同行业和不同应用的要求。半导体超精密研磨光栅的超精密加工需保证刻线间距均匀，提升测量与光谱分析精度。

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°

刀片/刀具/（BLADE/CUTTER/KNIFE）微泰生产和供应用于MLCC的各种工业刀具，包括垂直刀片、刀轮刀具、修剪刀片和镜头刀具。我们拥有制造刀片的自主技术，并拥有使用飞秒激光的切割机边缘校正技术，飞秒激光抛光技术，实现了无比锋利和提高使用寿命。刀锋（刀刃）的无凹痕、无缺陷的边缘。通过自动化检测设备进行管理，并以很高水平的光照度和直度进行管理。应用MLCC切割，相机模块+垂直刀片，刀轮切割器，镜头浇注口修整刀片、透镜切割器。特别是塑料镜头浇注口切割刀片占韩国市场90%以上。超精密加工的在线测量技术能及时反馈加工误差，实现实时补偿。

超精密加工技术是指加工精度达到亚微米级甚至纳米级的制造技术，主要包括超精密车削、磨削、铣削和电化学加工等方法。这些方法能够实现对硬脆材料、难加工材料和功能材料的精确加工，适用于光学元件、微型机械、生物医疗器件等领域。常见的超精密加工方法有：1.超精密车削：使用金刚石刀具进行加工，能够实现对非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，适用于加工硬质合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密铣削：利用金刚石或立方氮化硼刀具，适用于复杂形状零件的高精度加工。4.超精密电化学加工：通过电解作用去除材料，适用于加工微细、复杂结构的零件。超精密加工技术的发展对提高我国制造业的国际竞争力具有重要意义。医疗植入器械通过超精密加工提升表面光洁度，降低人体排异反应。半导体加工超精密打孔

陶瓷轴承的超精密加工需兼顾硬度与韧性，保证高速运转下的可靠性。半导体超精密研磨

一般来说，抛光是指使用陶瓷浆料的机械抛光，以及主要用于工业领域和蓝宝石抛光。激光抛光技术在技术上经常被提及，但并未应用于工业领域。这使我们的微泰感到抛光技术的需求，以便在精细磨削后对精细的平面进行校正。我们与国际的研究机构合作，开发了激光抛光设备并将其应用于工业领域。激光抛光技术是微泰的一项自主技术，它被广泛应用于大面积抛光和磨削后精细校正以及图案化技术。激光抛光特点是可以抛光异形件，复杂的图案，大面积均衡抛光，局部选择性抛光，抛光机动灵活，抛光时间短等特点。激光抛光原理和方法：1.扫描测量被加工表面台阶;2.测量结果转化制作等高线数据;3.按高度剖切曲面,进行打磨抛光；4.每个表面的激光抛光不同条件下MAX限度地减少因间隙和齐平造成的加工错误。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻画低功率时具有，清洗效果；抛光效果半导体超精密研磨