飞秒激光技术是一项通过“锁模”产生并利用“啁啾脉冲放大”提升能量的方法,创造出持续时间极短、峰值功率极高的光脉冲,并利用其与物质发生的超快、非线性、非热学相互作用,从而实现极限精度的测量、加工与操控的光电系统工程技术。 它不仅是工具,更是推动物理学、化学、工程学前沿探索的“探针”与“利刃”。技术特点总结极限的时间把控:主动操控飞秒量级的光脉冲。极限的空间精度:通过非线性效应,将加工区域限制在焦点体积内,实现亚波长尺度加工。极限的峰值功率:能产生地球上强的光电场,用于研究极端物理条件。材料普适性:通过多光子过程,可处理从金属到透明介质的各类材料。高度的灵活性:脉冲能量、重复频率、波长、脉冲形状均可根据应用进行定制。飞秒激光钻孔是一种使用高功率相干激光束快速加热材料以产生汽化现象并加工孔的技术。北京韩国技术飞秒激光精密制造

传统激光(纳秒、微秒脉冲)依靠“热积累”:激光能量被材料吸收,转化为热量,通过热传导熔化、蒸发材料。这个过程不可避免地会产生热影响区,包括熔融残留、微裂纹、热应力变形和材料性质改变。飞秒激光则依靠“非线性冷烧蚀”:时间极短(飞秒量级):激光脉冲作用时间远小于材料中能量转移到晶格(即转化为热)所需的时间(皮秒量级)。强度极高:超高功率密度直接导致材料发生多光子吸收/隧道电离,电子被瞬间剥离,形成高度电离的等离子体。等离子体膨胀与消散:等离子体在极短时间内迅速膨胀并消散,带走了绝大部分能量,未来得及将能量传递给周围材料。结果:材料直接被“移走”,实现“冷加工”。加工边缘清晰、无熔渣、无热损伤层,基本保持了材料的原始性质。北京高精度飞秒激光蚀刻飞秒激光是一种特殊类型的激光,其脉冲(像脉搏似的短暂起伏)持续时间非常短,达到了飞秒级别。

飞秒激光在精密加工中的独特能力与应用,超越衍射极限的“超衍射”加工原理:利用多光子吸收的非线性特性,加工阈值非常陡峭,只有焦点中心强度好的区域才会发生改性,加工尺寸可以突破光学衍射极限,达到亚波长甚至纳米级别。应用:微光学元件:制作衍射光学元件、微透镜阵列、波导结构。防伪与装饰:在材料内部或表面制作亚微米结构,产生结构色或特殊光学效果。光子器件:直接在光学材料内部刻写光栅、耦合器。真正的三维(3D)内部加工原理:对于透明材料(如玻璃、透明聚合物),飞秒激光只有在焦点处才能达到足够高的强度引发非线性吸收,从而可以选择性地在材料内部任意位置进行改性,而表面和路径上的材料不受影响。应用:微流控芯片:在玻璃或塑料内部直接雕刻出复杂的三维微通道网络。光数据存储:在玻璃内部写入多层、高密度的数据点,实现“5D存储”。集成光学:在透明基板内部制造三维光波导、分束器、干涉仪。
飞秒激光的优势:精细的非线性相互作用 — “三维空间选择性”原理:极高的峰值功率密度,使激光与物质的相互作用主要依赖于多光子吸收等非线性效应。这种效应只发生在激光焦点处光强极高的极小体积内,而在光束路径的其他区域(即使聚焦于透明材料内部)几乎不发生作用。直接结果:真正的三维微纳加工:可以像3D打印机一样,在透明材料(如玻璃、光刻胶)的内部任意位置进行写入、改性或制造复杂三维结构(如光子晶体、微流控芯片)。突破衍射极限:通过精确能量,可以使加工区域小于光斑的衍射极限,实现纳米尺度的特征。完美的层析能力:在成像(如多光子显微镜)中,可以只激发焦点处的荧光,实现高分辨率、高对比度的深层三维成像,且对样本无光损伤。超快飞秒激光切割机适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、等材料微细精密加工,切割无变形、精度高。

这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一。精密微纳加工与工业制造,脆性材料加工:在蓝宝石玻璃(手机屏幕、摄像头保护盖)、特种玻璃、陶瓷上钻孔、切割、刻划。无崩边、无裂纹,良品率高。金属微加工:为航空发动机叶片制作好的的激光诱导周期表面结构,降低阻力;制造精密燃油喷嘴微孔;支架切割。透明材料内部三维加工:利用其非线性效应,在焦点处发生作用,可以在透明材料(如玻璃、晶体)内部进行选择性改性、写入波导、制作微流道、存储三维数据。这是其他激光无法做到的。太阳能电池:用于晶硅太阳能电池的选择性掺杂和边缘隔离。相对于传统设备,飞秒激光由于脉冲时间极短,被加工物体不会被加热,适合加工30微米以下的高精度小孔。北京高精度飞秒激光蚀刻
飞秒激光作为超短脉冲激光的典型,具有超短脉宽、超高峰值功率的特点。北京韩国技术飞秒激光精密制造
精密制造——工业升级的“光刻刀”,飞秒激光是解决传统激光无法完成的“疑难杂症”的方案。 透明材料加工(“内部雕刻术”):应用:在智能手机的蓝宝石盖板、摄像头保护镜片上刻蚀标识;在汽车玻璃内部雕刻防伪码或装饰图案;制备微流控芯片;制造光纤光栅、光子晶体等光学元件。原理:透明材料对飞秒激光波长是“透明”的,但极高的峰值功率使得激光焦点处的材料通过非线性吸收瞬间改性或汽化,从而实现内部选择性加工,表面毫发无损。北京韩国技术飞秒激光精密制造