超精密飞秒激光薄膜芯片

这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一。精密微纳加工与工业制造，脆性材料加工：在蓝宝石玻璃（手机屏幕、摄像头保护盖）、特种玻璃、陶瓷上钻孔、切割、刻划。无崩边、无裂纹，良品率高。金属微加工：为航空发动机叶片制作好的的激光诱导周期表面结构，降低阻力；制造精密燃油喷嘴微孔；支架切割。透明材料内部三维加工：利用其非线性效应，在焦点处发生作用，可以在透明材料（如玻璃、晶体）内部进行选择性改性、写入波导、制作微流道、存储三维数据。这是其他激光无法做到的。太阳能电池：用于晶硅太阳能电池的选择性掺杂和边缘隔离。使用YAG激光器的脉冲持续时间较长，为 ∼20ns（1ns=10-9s），会导致热影响区和激光处理区域周围出现裂纹。超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光与材料相互作用的机理，与长脉冲或连续激光有本质区别：1.能量沉积极快（远快于热扩散）：传统激光（纳秒、微秒级）：激光能量首先加热电子，电子通过碰撞将能量传递给晶格（原子），引起熔化、蒸发和热影响区。这是一个热加工过程。飞秒激光：脉冲持续时间远小于电子将能量传递给晶格的时间（~1皮秒到10皮秒）。能量被电子瞬间吸收，但晶格还来不及响应。电子温度急剧升高，通过库仑爆破等方式直接将材料电离、剥离，几乎不产生热效应。这被称为 “冷加工” 。2.多光子吸收与非线性效应：飞秒激光的超高峰值功率，使得材料能同时吸收多个光子，激发到高能态，从而可以加工对激光波长原本透明的材料（如玻璃、蓝宝石）。3.明确的烧蚀阈值：只有当激光强度超过某个精确的阈值时，材料才会被去除。这使得加工精度可以突破衍射极限，实现亚微米级别的精密加工。结果：几乎无热影响区、无熔融、无微裂纹、无材料溅射，实现了真正的“冷”精密去除。上海半导体飞秒激光飞秒，是一种时间单位，等于10-15秒，即1/1,000,000,000,000,000秒。

飞秒激光作为超快激光领域的主要部分，正以其超短脉冲（10^-15秒）、超高峰值功率的独特优势，在众多前沿领域引发的变化。其技术应用已从实验室走向工业化，不断开辟新赛道。飞秒激光已不再是单纯的“工具”，而是演变为一系列颠覆性技术的使能平台。其应用正沿着两条主线飞速发展：纵向深化：在微加工等现有领域，向着更高效率、更高精度、更智能的方向进化，深度融入制造产业链。横向拓展：不断与物理学、化学、信息科学交叉融合，催生出如阿秒科学、长久光存储等未来产业的新萌芽。

飞秒激光技术关键技术参数与物理内涵：脉冲宽度：通常在几十到几百飞秒。决定了与物质相互作用的瞬时性。脉冲能量与峰值功率：脉冲能量：单个脉冲携带的能量（微焦到焦耳级）。峰值功率 = 脉冲能量 / 脉冲宽度。可达太瓦至拍瓦，这是产生极端非线性效应的基础。重复频率：每秒钟输出的脉冲个数。从振荡器的MHz（高重频，用于精密加工、成像）到放大器的kHz甚至单次（低重频，用于强场物理）。中心波长与频谱：钛宝石激光器输出近红外（~800nm），也可通过光学参量放大等技术扩展到紫外到中红外波段。飞秒激光在信息储存和记录方面有很好的发展前景。

实现飞秒激光的主要技术是 “锁模技术”。原理：通过某种方法（如可饱和吸收体）让激光谐振腔内成千上万个不同纵模的相位锁定一致，使它们发生相干叠加，从而产生周期性的超短脉冲序列。典型激光器：掺钛蓝宝石晶体激光器是产生飞秒脉冲的主流介质。光纤飞秒激光器因其紧凑、稳定也逐渐普及。飞秒激光技术是人类操控光与物质相互作用的体现之一。 它凭借超短的时间尺度和超高的空间精度，打破了传统加工的物理限制，开启了 “冷”、“精”、“韧” 的制造新范式。飞秒激光加工技术可对PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼等各种材质的产品进行细孔加工。上海飞秒激光蚀刻

秒激光用于加工时，其加工面会非常均匀平滑，毛刺较少甚至无毛刺，脉冲越短，越平滑均匀。超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光的强大能力源于其极短的脉冲时间和极高的峰值功率。超高峰值功率：虽然单个脉冲的能量可能不高（毫焦耳量级），但由于能量被压缩在极短的时间内释放，其瞬时功率（峰值功率）可以轻松达到太瓦（10¹² 瓦）甚至拍瓦（10¹⁵ 瓦），相当于全球电网总功率的数百倍。超快相互作用：脉冲作用时间远小于材料中能量扩散（热传导、等离子体扩散等）所需的时间（皮秒-纳秒量级）。非线性效应主导：极高的光强使得激光与物质的相互作用从常见的线性吸收（如热效应）转变为多光子吸收、隧道电离等非线性过程。超精密飞秒激光薄膜芯片