半导体测试是半导体生产过程中的重要环节，其测试设备包括测试机、分选机、探针台。其中，测试机是检测芯片功能和性能的专业设备，分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来的专业设备，与测试机共同实现批量自动化测试。受益于国内封装测试业产能扩张，半导体测试设备市场快速发展。作为半导体封测行业三大设备之一，探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的晶圆、芯片等器件的测试，研发难度大，国产化率低，进口依赖度高，它的品质和精度直接决定测试可靠性与否。探针卡使芯片与封装后成品管脚焊接质量差，容易引起短路。河北射频探针台公司
探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25℃，相对湿度小于50％的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃，气压为0．4±0．04MPa。相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。河北射频探针台公司探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类。
尽管半导体测试探针国产化迫在眉睫，但从技术的角度来看，要想替代进口产品却并不容易。业内人士指出，国内半导体测试探针还只能用于要求不高的测试需求，比如可靠性测试国产探针可以替代很多，但功能性测试和性能测试还有待突破。弹簧测试探针主要的技术是精微加工和组装能力，涉及精微加工设备、经验、工艺能力缺一不可。值得注意的是，由于半导体测试探针市场一直被国外厂商占据，同时也实施了技术封锁，国内并没有相应的技术人才，包括生产人员和设计人员都缺乏。国内大部分测试探针厂商基本不具备全自动化生产制造能力。随着探针接触到焊点金属的亚表层，这些效应将增加。
探针治具的校准：我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉，当使用探针夹具的方式进行操作有两种校准方法：1一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准，然后通过加载探针S2P文档的方式进行补偿;2第二种方法是直接通过探针搭配的校准板在探针的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿探针头，而直接进行测量的话会带来很大的误差。探针厂商一般都会提供探针的S2P文档与校准片，校准片如下图所示，上面有Open、Short、Load及不同负载的微带线。探针台广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。湖北全自动探针台供应
半导体设备价值普遍较高，一条先进半导体生产线投资中，设备价值约占总投资规模的75%以上。河北射频探针台公司
手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。河北射频探针台公司
