企业商机
罗茨真空泵基本参数
  • 品牌
  • 马德宝
  • 型号
  • ZJ/ZJP/ZJC/ZJPC/ZJQ/LS罗茨真空泵
罗茨真空泵企业商机

为满足半导体、电子工业等对无油清洁真空的需求,干式罗茨真空泵发展迅速,其中多级罗茨真空泵为主流,美日等国已开发系列产品应用于相关工业。“多级” 指在转子轴上串联多级罗茨型转子,各级由中间壁隔离形成**泵腔,通过气流通道连接,各级转子直径和形状相同,宽度向高压侧可能变窄,常采用气冷式三叶转子增加压缩比。被抽气体从***级进气口进入,经逐级压缩后从***一级排气口排出,理论抽速取决于***级,却能实现高压缩比,可直排大气无需前级泵,避免油气污染。3-6 级罗茨泵可从大气压抽到极限压力 1Pa,高压力差可能导致转子过热,需在高压段气冷控制温度,冷却气体返流会损失抽速。为防止润滑油返流,泵腔与齿轮箱需隔离或密封,齿轮箱也可另设真空泵排气,多级罗茨泵在无油清洁真空领域具有重要地位和广阔应用前景。大口径罗茨真空泵,快速提升真空系统抽气效率。浙江国产罗茨真空泵厂家直销

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罗茨真空泵又称机械增压泵,属旋转式容积真空泵,**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上,通过传动比为 1 的同步齿轮驱动,实现等速反向旋转,且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触,运转时摩擦损失小、功率消耗低,可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承,借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置,固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙,使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置,能防止油箱润滑油进入泵腔,出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷,高压力工况下推荐选用水冷结构,电动机动力经联轴器传给主动轴,再通过同步齿轮带动从动轴旋转,ZJ 系列为卧式结构,多采用联轴器与电机直联,特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品,抽气原理相同,但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时,阀自动开启,此数值为泵可靠运转的比较高压力差,使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动,但系统容积大时,旁通阀开启时间长,有效抽速小,经济性差,建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。浙江水喷射罗茨真空泵说明书罗茨真空泵在环保行业,助力废气处理真空系统。

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碳化硅单晶生长对真空环境的极限压力与稳定性要求严苛,罗茨真空泵通过与涡轮分子泵联用满足工艺需求。在单晶炉升温阶段,其先将炉内压力从大气压快速降至 10³Pa,抽除炉腔残留空气与水分;随着温度升至 2000℃以上,罗茨真空泵接力抽气,配合液氮冷阱将压力进一步降至 10⁻⁶Pa,为碳化硅晶体生长提供超高真空环境。其 6000rpm 以上的高转速转子能快速抽除晶体生长过程中释放的硅蒸汽与杂质气体,减少单晶缺陷;动态压力调节能力可应对生长过程中的突发气体释放,抽速波动率<5%,保障晶体尺寸均匀性与电学性能。该设备还具备耐腐蚀涂层,能耐受碳化硅生长环境中的微量腐蚀性气体,延长使用寿命。

金属粉末烧结需严格控制真空度以避免氧化与成分偏析,罗茨真空泵的干式无油特性与动态压力调节能力完美契合这一需求。在不锈钢、航天钛合金粉末烧结中,其配套的实时漏率监测系统可将漏率控制在 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 以内,确保烧结全程真空环境稳定。升温速率 5-15℃/min 可调的工艺中,罗茨真空泵能同步适配不同阶段的抽气需求:低温阶段快速抽除水分与易挥发杂质,高温阶段则缓慢抽取合金内部扩散出的氢、氮气体,防止粉末团聚与成品疏松。烧结结束后,配合惰性气体反充装置,可实现快速冷却,使零件致密度达到 98% 以上,满足航天领域对抗拉强度的严苛要求。罗茨真空泵是无内压缩旋转变容式真空泵,由罗茨鼓风机演变而来,有多种类型。

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真空电弧自耗炉依赖高真空环境实现活性金属精炼,罗茨真空泵是其真空系统的**组成。在钛、锆等金属重熔中,其与机械泵、油增压泵串联使用,可将炉内真空度从大气压快速降至 1×10⁻²Pa,抽除炉内氧气与杂质气体,避免金属熔炼时氧化。自耗电极熔化阶段,罗茨真空泵能实时抽除电极释放的气体与熔炼产生的挥发物,配合大电流精炼实现深度除杂,使铸锭纯净度***提升;其 30-1200L/s 的宽范围抽速可适配不同直径电极的熔炼需求,保障熔池稳定性。该设备还具备耐高温特性,在 1000℃以上熔炼温度下仍能稳定运行,支持连续多炉次生产,满足航空航天用高纯度金属铸锭的生产需求。罗茨泵是双转子容积泵,转子反向旋转,经吸气、外压缩、排气抽气。浙江大气喷射液环罗茨真空泵口碑推荐

罗茨泵与罗茨鼓风机结构原理相似,但真空泵需前级泵配合,鼓风机可直接排气,且真空泵转子间隙控制更精密。浙江国产罗茨真空泵厂家直销

罗茨真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速,启动快,能立即工作。对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感,转子不必润滑,泵腔内无油,振动小,驱动功率小,结构紧凑,占地面积小,运转维护费用低。这些特点使其在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业等部门得到广泛应用。罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所,环境温度为5-40℃,需水平安装,周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养和拆装。接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。连接被抽容器的管道应清洁,无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证足够的通导能力,管道连接应密封不漏。
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罗茨真空泵安装调试 2026-02-04

罗茨泵为双转子容积式真空泵,抽气过程中,泵腔内有两叶、三叶或四叶对称转子,彼此反向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动,转子间及转子与泵腔壁间无接触*存微小间隙。转子高速运转(通常 1500-3000r/min),无需油润滑,实现无油清洁抽气,润滑*需轴承、齿轮及动密封处。抽气时,转子旋转使被抽气体从吸气口进入泵腔并封闭在吸气腔内,随后经排气口排出。由于吸入气体未被压缩,当转子顶部转过排气口边缘,吸气腔与排气侧相通,高压气体返流使泵腔压力骤升达排气压力,完成外压缩,转子持续运转实现连续抽气,主轴旋转一周排出 4 个泵腔容积气体,几何抽速有相应计算公式。多数罗茨泵为卧式结构,重心低稳定性好,两转子通过高...

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