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光刻掩膜版质量的优劣直接影响光刻的质量。在芯片制造过程中需要经过十几甚至几十次的光刻，每次光刻都需要一块光刻掩膜版，每块光刻掩膜版的质量都会影响光刻的质量。光刻过程中，通常通过一系列光学系统，将掩膜版上的图形按照 4：1 的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限，光掩膜上的图形并不可能与设计图像完全一致，即在后续的硅片制造过程中，掩膜板上的制造缺陷和误差也会伴随着光刻工艺被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。

激光应用之激光雕刻；南昌HOYA激光

半导体激光器失效机理与案例分析：

2）欧姆接触如果芯片和焊料存在较大的热失配，激光器在焊接或工作时会导致材料界面产生应力集中，进而引起焊料开裂或芯片裂损。此外，在焊接激光器时，芯片和焊料间存在焊接空隙会导致激光器发生失效，同时焊接中的焊料溢出也易导致PN结短路。

3）腔面退化腔面退化是激光器区别于其他微电子器件的一个失效模式。由于激光器有源区材料中含有Al或In元素，且当芯片设计制造工艺均匀性或一致性较差时，Al、In元素在高功率工作下会发生融化或再结晶，导致腔面出现杂质或缺陷，从而使该区域温度不断升高，面的电流密度继续增大导致该区域温度进一步升高，终导致灾变光学损伤。

4）环境污染环境污染是导致半导体激光器失效的外界因素，主要原因为灰尘、水汽、离子污染物等颗粒进入半导体激光器内部，附着在芯片表面引起短路或开路，导致器件失效。 Mask激光故障分析激光微加工系统的主要功能；

激光加工主要是利用激光束与物质相互作用的特性对材料进行切割、焊接、表面处理、打孔、打标、微加工；也可作为光源进行材料、物体识别等。其中，以工业激光加工比较普遍。激光加工涉及光、机、电、软件、材料及检测等多门学科综合，主要分为：1.激光加工系统（包括激光器、激光传输系统、加工机床、控制及检测系统）；2.激光加工工艺（包括切割、焊接、表面处理、打孔、打标、划线、微雕等加工工艺）等部分。近年来，以激光器为基础的激光产业在全球发展迅猛，得益于应用领域的不断拓展，中国激光产业正持续、稳步发展中。

激光机常见故障以及解决方法：三、复位不正常1、检查传感器是否沾灰、接触不良或受损（擦净传感器上的灰尘或更换）；2、检查柔性导带数据线是否接触不良或损坏（修剪数据线重新拔插或更换数据线）；3、检查地线接触是否可靠或高压线是否受损（重新接地或更换高压线）；4、电机线接触不良。四、漏刻1、初始化不正确，已发送数据（更正）；2、操作顺序颠倒（重新输出）；3、静电干扰（检查地线是否脱落）；五、清扫勾边错位、不闭合1、编辑好的文件是否正确（重新编辑）；2、所选目标是否超出版面（重新选取）；3、检查软件参数设置是否正确（重新设置）；4、电脑系统有误（重新安装操系统及软件）；5、检查左右皮带松紧是否一致或后端皮带是否太松（皮带加紧）；6、检查皮带或同步轮是否打滑、跳齿（加紧同步轮或皮带）；7、检查横梁是否平行（重新调节左右皮带）；超快激光器高频脉冲；

激光打标机常见的五种故障分析：

3.激光打标机的标识薄膜粘版产生原因：热压温度高于降解温度，涂料黏性加大就会造成粘版而使薄膜缠绕在全息压印辊上。解决方法：降低热压温度。

4．激光打标机的标识图案暗淡无光解决方法：检查加热温度是否太低，模压压力是否下降。工艺控制要点：模压压力的设定应综合考虑模压温度、全息材料的种类或涂料层软化点模压版的情况等。压力过高，模压版易损坏或将全息材料压坏；压力过低，模压图像不清楚、不完整；对于圆压圆方式，两边压力辊的初始压力一般在0．08MPa左右；模压开始后慢慢将压力辊的压力均匀加大至030～0．50MPa。模压速度可根据压印质量机器性能等综合调节。

5．激光打标机的标识图案一块清楚一块模糊产生原因：热压装置的温度分布不均匀或者模压版不平整。 激光掩膜版是芯片制造过程中的图形“底片”；上海激光排行榜

在40nm左右的时候，转移图案的过程中，需要使用到40层左右的掩膜版。南昌HOYA激光

激光光掩膜主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分为铬版（苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃）、干版、菲林、凸版（APR）。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约 0.1um 的铬层。铬的硬度比玻璃略小，不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，后者可应用于芯片制造。南昌HOYA激光

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