上海低温真空探针台

    RF/mmW超高频测试探针台系统可配合市场主流扩频模块进行超高频测试l大行程高精度探针座，X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动，扩大了显微镜视场l兼容直流与高频信号l可以定制，可升级性强lFA(失效分析)**激光探针台系统失效分析实验室**（芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证）l激光镭射波长1064/532/355nm可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底l材料/器件（尤其是射频特征芯片）的IV/PIV/CV电性测试和失效分析。l**小切割线宽：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品l可调节显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带自动锁定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以无级调节）。 探针台广泛应用于产品开发和故障失效分析。上海低温真空探针台

探针台应用手动探针台广泛应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能：搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能（如电流、电压、阻抗等）或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件（如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备（不属于本机器）对此测试、分析。fA级漏电探针台配件极端环境下给样品加载电学信号的探针台设备。

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑，设计精密，价格实惠，在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表，可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内，配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势：探针台与显示器一体化设计，大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统，一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计，不仅增大了针座的加载空间，还提高了针座平台和针座之间的吸附力

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。探针台规范操作步骤。

经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以除掉，降低器材的制作本钱。半导体的测验环节，首要包含芯片规划中的规划验证、晶圆制作中的晶圆测脸(CP测验)和封装完结后的成品测验(FT测验》。半导体测验设备首要包含测机、探针台和分选机。在一切的测验环节中都会用到测验机，不同环节中测验机需要和分选机或探针台配合使用探针台是检测芯片的重要设备，在芯片的规划验证阶段，首要作业是检测芯片规划的功能是否可以达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐个查看，只要通过规划验证的产品型号才会量产。晶圆测验一般在晶圆厂、封测厂或专门的测脸代工厂进行，首要用到的设备为测验机和探针台。光电流测试探针台系统。TFT探针台系统

全自动探针台相比普通探针台添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。上海低温真空探针台

探针台如何工作？探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。上海低温真空探针台

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