上海WLCSP植球检查修补一体机工厂

晶圆级微球植球机是半导体封装装备，专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和 微球自动收集及循环供球技术，满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求，克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足，提升了微球搭载成功率。植球平台的运动定位精度决定了印刷和植球成功与否，其位置误差可以通过安装调试尽量减小，在此不做具体研究，只考虑定位误差。定位误差需满足”M“；通过以上分析，根据误差要求合理选择各个方向定位机构所需的精度等级。晶圆植球机芯片凸点种类很多，常用的有金凸点和焊料凸点。上海WLCSP植球检查修补一体机工厂

晶圆植球机，简称GBIT，晶圆植球机，专业提供半导体晶圆级测试、封装工艺及检测类设备，并专注于提供给客户完整的系统集成服务一、半自动BGA植球机1）功能用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂，振动方式供球，真空方式吸取和放球2）特点振动盘方式供球，所有品种通用，治具成本低结构紧凑，占地空间小。晶圆级微球植球机是半导体封装装备，专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。宁波常用植球机生产企业晶圆植球机精度高，重复精度±0.01mm；

晶圆植球机的尺寸：850(W)x1100(D)x1750(H)mm二、WLCSP植球机TBM-10001）功能自动晶圆植球：自动对位，自动印刷和自动植球采用钢网印刷方式印刷助焊剂和锡球2）特点上下视野镜头自动定位，运动机构采用直线电机和DD马达，提高速度和精度独有的植球机构，特别适合微球植球，不伤球模块化结构，可以做成单机，也可以做成连线式机台；3）参数对应球大小50〜300微米对应产品：6、8、12英寸晶圆植球良率：不良率≤30PPM速度：UPH40（12英寸晶圆、200微米球）对应球50-300微米外形尺寸：3595(W)x1685(D)x1650(H)毫米。

自动晶圆植球设备包括底部架台，在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、 晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。本技术采用CCD自动对位，保证了对位的准确性和快速性，可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆，对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。晶圆植球机植球精度大概为0.015mm。

晶圆级微球植球机是半导体封装装备，用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术，满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求，克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足，提升了微球搭载成功率。该装备获得7项发明授权。对应晶圆的工作区域宽的高速植球机：在焊线机UTC-5000的基础之上，实现30ms／bump的高速焊接，搭载旋转晶圆台，可焊接较大6英寸的晶圆，搭载2个晶圆焊接台以及升降温控制功能，缩短更换晶圆时间，提高生产能力。晶圆植球机可连接回流炉、清洗机；上海WLCSP植球检查修补一体机工厂

晶圆植球机不使用时，请对钢网进行清洗，以防钢网变形损坏。上海WLCSP植球检查修补一体机工厂

晶圆植球补球一体机BM2000WI的特点是什么样的？1.可以对应硅晶圆，模块晶圆的微锡球植球，检查及修补，可选择离线或在线方式。2.从上料到下料可实现全自动作业。3.各个工序同时作业，作业效率大幅提高。4.根据客户需要，可和其他设备连接组成产线。5.可对应8,12寸的晶圆。6.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆植球机根据图像处理自动定位后，在晶片上印刷助焊剂，对12英寸晶片对应的位置焊锡球。晶片安装，取出手动省空间，低价半自动装置。上海WLCSP植球检查修补一体机工厂