【真空镀膜设备设计原则及常用技术指标】真空设备设计原则:(1)先功能,后结构。先给出指标参数、生产要求、功能;(2)先核xin后辅助。由内向外。先决定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整体。再由整体,定局部。(4)先设计,后校核。由粗到细。镀膜机常用技术指标:镀膜方法:CVD,PVD(蒸发、溅射、离子镀、复合镀);被镀工件的形状、尺寸;工件...
查看详细 >>【真空镀膜机之卷绕机构设计中应考虑的问题】①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜...
查看详细 >>【不同类型镀膜机应用范围介绍】不同类型镀膜机的适用范围介绍1.磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等2.磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等3.磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等4.AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,...
查看详细 >>【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵(滑...
查看详细 >>【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空...
查看详细 >>【真空镀膜真空的基本概念】: 真空的划分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 极高真空 <10E&12Torr 流导(导通量):表示真空管道通过气体的能力,单位为升/秒(L/S)。一般情况下,管道越短,直径越da,表面越光滑,越直的管道...
查看详细 >>看冷却水循环系统。真空镀膜机需要配置冷却水循环系统,冷却水用去离子水的效果更佳,对于防腐蚀也起到很大的作用,对于一些容易生锈的部件还会有很好的抑制作用。如果在去离子水中适量的加入一些防腐剂也可以起到防腐蚀的作用。现在有很多的真空镀膜机都是采用全自动控制的方式。虽然说是全自动控制,但是各种区别还是很大的,其中有很多还处在半自动的状态。能够实...
查看详细 >>【真空镀膜设备的分类】:这个问题如果在十年之前,其实是很容易回答的,就是两个大类,物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的,但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了,所以从应用领域上可以分成以下几类:传统光学器件(镜片,滤光片)所用的镀膜设备:单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备,溅射式镀膜设备。新材料领域的柔性设备:卷对卷柔性镀膜设备。...
查看详细 >>【离子镀膜法介绍】: 离子镀膜技术是在真空条件下,应用气体放电实现镀膜的,即在真空室中使气体或蒸发物质电离,在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下、同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。根据不同膜材的气化方式和离化方式可分为不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、高频感应加热、阴极弧光放电加热等。气体分...
查看详细 >>【真空镀膜电阻加热蒸发法】: 电阻加热蒸发法就是采用钨、钼等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让电流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入坩锅中进行间接加热蒸发。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中...
查看详细 >>【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外自雾】:现象:镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙tong或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻。可能成因有:1.膜结构问题,外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙2.蒸发角过大,膜结构粗糙3.温差:镜片出罩时内外温差过大4.潮气:镜片出罩后摆放环境的潮气5.真空室内PO...
查看详细 >>【真空镀膜设备之真空的测量】: 真空计: A、热偶规、皮拉尼规、对流规: 用来测粗真空的真空计,从大气到1E&5Torr,精度一般在10%,皮拉尼规精度高的可到5%, 反应较慢,受温度变化的影响较大。 B、离子规: 用来测高真空或超高真空的真空计,热灯丝的离子规测量范围一般从1E&4到1E&9Torr,特殊的有些甚至可以低到&10甚至&1...
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