绍兴显示面板用减薄用清洗剂配方技术

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    经减薄处理后的玻璃可再次进入所述冲洗区2以经历减薄后清洁并且通过所述转换区1被卸载到外部；所述玻璃减薄设备还设置有制动组件，通过所述制动组件实现所述玻璃加工治具4从所述转换区1经所述冲洗区2向所述蚀刻区3的减薄前移动，以及从所述蚀刻区3经所述冲洗区2向所述转换区1的减薄后移动。在本实施例中，图1内并排设置有2个所述玻璃减薄设备，所述冲洗区2包括冲洗区2、第二冲洗区2和第三冲洗区2，所述第二冲洗区2设置于所述冲洗区2和所述第三冲洗区2之间，所述冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述转换区1之间，所述第三冲洗区2设置于所述第二冲洗区2和所述蚀刻区3之间。所述转换区1可升降的折叠式结构，从而便于所述玻璃加工治具4在所述转换区1的放置或卸下。较佳的，所述转换区1还设置有装卸臂，通过所述装卸臂可实现对所述玻璃加工治具4的上下料，以及单片玻璃的拿取检测。实施例二如图2所示，图2为所述蚀刻区的结构示意图；所述蚀刻区3包括腔室31、主厚度测量仪32、喷淋组件33和控制器；所述喷淋组件33在所述腔室31中对设置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加减薄处理，所述主厚度测量仪32实时测量在所述腔室31内经历减薄处理的玻璃厚度。

    将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将待加工部件固定在托盘上。具体地，将待加工部件背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶，如az4620光刻胶，然后在托盘表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶，如az4620光刻胶，之后，将托盘光刻胶面向上放于温度为90℃的热板上，将待加工部件光刻胶面和托盘光刻胶面贴合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar压强于待加工部件上进行键合，键合时间20min。s102：通过喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对待加工表面进行抛光；s103：通过磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对待加工表面进行减薄。可选地，本发明实施例中，s102和s103可以交替进行，也就是说，控制磁转子旋转一段时间后，控制磁转子停止旋转，并控制喷头喷涂抛光液，停止喷涂抛光液后，再次控制磁转子旋转，以此类推。本发明实施例中，通过磁转子和喷头交替工作，实现了减薄和抛光两种工艺交替作用，使得减薄和抛光一体化完成，整个过程稳定，速度快，控制性好，重复度高，无粉尘污染，衬底减薄终厚度达到20μm，抛光面ra＜2nm。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力。使用减薄用清洗剂的需要什么条件。

    根据ASTMB-117及DIN执行标准JIS、ASTM、GBCAS7732-18-5闪点40℃主营产品：不锈钢钝化系列不锈铁钝化系列铜材钝化系列铝材钝化系列￥深圳市钝化技术有限公司所在地：广东深圳在线询价欧洋专注五金表面处理剂铜除油剂OY-29类别酸性清洗液型号OY-29品牌欧洋主要用途铜除油主营产品：五金化工表面处理清洗光亮钝化封闭￥温州奥洋新材料有限公司所在地：浙江温州在线询价OY-54环保铜清洗剂铜光亮剂铜抛光剂产品规格20KG/桶执行标准7089750/CHEM主要用途铜产品高光亮效果处理剂CASGB/99029主营产品：除油除锈剂防锈剂光亮剂发黑剂染色防变色剂防霉剂化学抛光剂￥温州奥洋科技有限公司所在地：浙江温州在线询价供应Q/型号Q/品牌贻顺分类铜材处理香型无味PH值酸性保质期36个月主营产品：抛光剂发黑剂除油剂化学镀￥广州市贻顺化工有限公司所在地：广东广州在线询价铜氧化物清洗剂黄铜。青铜，紫铜，铍铜。减薄用清洗剂的适用人群有哪些？惠州性价比高的减薄用清洗剂销售厂家

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    本发明提供如下技术方案：一种抛光减薄装置，包括：托盘，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圆；喷头，用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，以对所述待加工表面进行抛光；磁转子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨，对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括控制部件；所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连，用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作，以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地，所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层，以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地，所述研磨层为金属氧化物层，所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地，还包括：热板，设置于所述托盘底部，用于对所述托盘进行加热，以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地，所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法，包括：将待加工部件固定在托盘上，所述待加工部件包括inp基晶圆；通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光；通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。绍兴显示面板用减薄用清洗剂配方技术