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    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图；图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图；图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图；图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置，用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄，如图1所示，包括托盘10、喷头11和磁转子12，当然，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等，托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中，托盘10，可选为石英托盘，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，以对待加工表面进行抛光。高效、环保的减薄用清洗剂，为您的生产带来绿色变化。绍兴哪里减薄用清洗剂费用

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    图2为所述蚀刻区的结构示意图；图3为所述玻璃加工治具的种结构正视图；图4为所述玻璃加工治具的第二种结构正视图；图5为图3中的局部放大图；图6为所述玻璃加工治具的结构俯视图；图7为所述底支撑件的结构正视图；图8为所述底支撑件的结构侧视图。图中数字表示：1-转换区；2-冲洗区；3-蚀刻区；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度测量仪；33-喷淋组件；41-底座；42-支撑架；43-底支撑件；44-侧支撑件；421-竖直平板；422-侧板；423-固定板；424-水平槽；425-竖直槽；426-固定槽；427-固定卡块；428-定位槽；429-定位孔；431-支撑条；432-第二支撑条；433-连接部；434-接触部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位块；439-第二限位块。具体实施方式以下结合附图，对本发明上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。实施例一如图1所示，图1为所述玻璃减薄设备的结构视图；本发明中所述玻璃减薄设备包括转换区1、冲洗区2和蚀刻区3，所述冲洗区2设置于所述转换区1和所述蚀刻区3之间，竖直容纳在玻璃加工治具4中的多个玻璃通过所述转换区1被加载到所述冲洗区2中，在所述冲洗区2中进行减薄前清洁并且在所述蚀刻区3中经历减薄处理。

    在本发明的一个实施例中，抛光液110的主要成分包括：碳化硅颗粒，颗粒直径为50nm～200nm，体积比为3％～5％；次氯酸盐，体积比为30％～40％；氢溴酸，体积比为5％～7％，di水，体积比50～60％。本发明的一个实施例中，如图3所示，磁转子12包括截面为半圆形的柱状磁性结构120和位于柱状磁性结构120的底部平面的研磨层121，以通过研磨层121对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨。当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，可以根据实际需求选择合适的磁转子形状。可选地，研磨层121为金属氧化物层，进一步可选地，金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地，研磨层121的厚度为10μm。本发明实施例中，如图4所示，磁转子12沿箭头所示方向旋转，如沿逆时针或顺时针方向旋转，并且，磁转子12的长度近似等于待加工部件20如inp基晶圆的直径，以对整个待加工表面进行研磨。本发明实施例中，抛光减薄装置还包括控制部件。控制部件与磁转子12和喷头11相连，用于控制喷头11和磁转子12交替工作，以对待加工表面交替进行抛光和减薄。其中，控制部件通过脉冲方式控制喷头11和磁转子12交替工作。可选地，控制部件控制磁转子12的转速为80rpm～200rpm。去除涂层，减薄用清洗剂是您的得力助手。

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    所述控制器进行第二次减薄厚度确认操作；具体的，通过设置于所述第三冲洗区2的第二辅助厚度测量仪进行厚度检测，从而实现所述减薄厚度确认操作，当所述减薄厚度未达到目标厚度时，所述玻璃加工治具4可再次进入所述蚀刻区3内进行减薄处理。所述主厚度测量仪32设置在其中对玻璃施加减薄处理的所述蚀刻区3中并且实时测量玻璃厚度，使得玻璃可更准确地具有目标厚度；所述辅助厚度测量仪设置在所述冲洗区2中，并且再次测量经历过减薄处理的玻璃的厚度，因此可以检查设置在所述蚀刻区3中的所述主厚度测量仪32是否无法正确工作，并且使减薄玻璃的缺陷率降至；且所述辅助厚度测量仪可提前测量待经历减薄处理的玻璃的厚度，因此可以检查设置在蚀刻区3中的主厚度测量仪32是否无法正确工作；所述第二辅助厚度测量仪设置在所述第三冲洗区2，从而在减薄后清洗终完成后，再次进行厚度检测，从而检测预从所述玻璃减薄生产线运出的玻璃是否符合标准，并进一步降低减薄玻璃的缺陷率。以上所述为本发明的较佳实施例，对本发明而言是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在本发明权利要求所限定的精神和范围内可对其进行许多改变，修改，甚至等效，但都将落入本发明的保护范围内。绍兴哪里减薄用清洗剂费用