中源绿净针对局部管控需求优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现单区域联动,通过在关键工位、设备周边部署监测点与 FFU,形成 “点对点” 管控单元,对该区域洁净度变化做出响应,避免整体调节导致的资源浪费。系统支持单区域参数配置,可根据不同区域的洁净要求、生产特性,设定专属的联动阈值、风速调节范围、响应速度等参数。在芯片测试车间的探针测试工位,周边 FFU 可根据该工位洁净度数据调节,避免对其他区域造成影响;在生物实验室的培养箱周边,单区域联动可维持局部高洁净环境,保障实验样本不受污染。适用场景包括精密制造工位、生产区域、实验室关键区域等,单区域联动响应精度达 ±0.01m/s 风速调节,监测点与 FFU 的距离可灵活调整(0.5-5 米),适配不同工位布局,同时支持单区域联动状态显示,管理人员可快速掌握各关键区域的管控情况,局部异常时不影响整体生产,提升管控的性与灵活性。中源绿净模块化洁净室,空调过滤系统容尘量达 800g/m²,为 20 + 企业延长更换周期!深圳十级洁净室在线监测

中源绿净洁净度在线监测系统,配备多语言数据显示界面(含中文、英文、德文、日文等 8 种语言),系统可根据用户所在地区自动切换语言,语言切换响应时间≤1 秒,数据格式(如日期、单位)可同步适配不同国家或地区的标准(如符合欧盟、美国、日本的计量标准)。药厂开展跨国生产或接受国际认证(如欧盟 GMP、美国 FDA 认证)时,需向国际监管机构提供多语言的洁净度监测数据报告,若系统不支持多语言功能,将增加报告编制的工作量与出错风险 —— 某跨国药厂曾因原监测系统支持中文,在申请欧盟 GMP 认证时,需人工将数千条监测数据翻译成英文,耗时 2 周且出现 3 处数据翻译错误,导致认证审核延迟。该系统通过多语言界面,可直接生成符合国际标准的多语言监测报告,报告包含粒子浓度、温湿度、压差等数据,且数据单位(如 PCS/m³、℃、% RH、Pa)可根据目标地区要求切换(如欧盟常用 PCS/m³,美国部分地区常用 PCS/百万级洁净室在线监测系统中源绿净模块化洁净室,空调系统过滤段更换时间≤30 分钟,为 20 + 企业减少停机影响!

中源绿净依托物联网技术构建集群联动架构,其 FFU 与洁净度联动系统支持 500 台以上 FFU 按区域分组联动,可根据洁净室布局、生产工序划分多个联动集群,每个集群响应区域内洁净度变化,同时集群间可实现协同调度,避一区域调节对整体环境的影响。系统平台可直观展示各集群 FFU 运行状态与洁净度数据,支持集群参数统一配置与单独调整,满足差异化管理需求。在大型半导体产业园,可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节划分联动集群,生产集群采用高频监测与快速调节,辅助区域集群采用节能联动模式;在综合性医疗洁净区,可按手术室、ICU、实验室等分组,不同集群适配不同洁净等级的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多区域生产车间、产业园区等,系统集群联动响应时间小于 5 秒,支持集群间数据共享,当某一集群洁净度异常时,相邻集群可提前预警并调整运行状态,形成防护屏障,同时具备负载均衡功能,避免多台 FFU 同时高速运行导致的能耗峰值,实现管控效果与节能目标的平衡。
中源绿净的洁净室环境监测系统,具备设备状态自动巡检功能,可定时对所有部署的监测设备进行状态检测,无需人工逐台检查,大幅减少运维工作量,同时及时发现设备异常,避免监测中断。自动巡检的检测内容包括设备在线状态(是否联网)、硬件健康状态(传感器、电源、通信模块是否正常)、数据采集状态(是否正常采集微粒、温湿度数据)、存储状态(本地 SD 卡 / 云端存储是否正常),巡检周期可自定义(如每小时 1 次、每 4 小时 1 次),巡检结果实时反馈至管理平台。中源绿净模块化洁净室,拆卸后材料回收率达 90%,为 30 + 企业响应环保政策要求!

中源绿净优化区域管控效率,其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 分组联动,可根据洁净室功能分区、洁净等级、生产工序将 FFU 划分为多个联动组,每个组响应区域内的洁净度变化,组内 FFU 协同调节,组间互不干扰,实现管控。系统支持组内 FFU 参数统一配置与单独调整,可根据各组需求设定差异化的联动阈值、风速范围、响应速度,平台可直观展示各组联动状态与洁净度数据。在大型电子制造车间,可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节分组,生产组采用高频联动,辅助组采用节能联动;在综合性医院洁净区,可按手术室、ICU、实验室分组,不同组适配不同的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多功能分区车间、复杂生产中源绿净为 25 + 生物制药研发中心打造模块化洁净室,实验环境稳定,研发周期缩短 15%!苏州手持洁净室检测
中源绿净为 20 + 航空电子车间打造模块化洁净室,产品可靠性测试通过率提升 15%!深圳十级洁净室在线监测
中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。深圳十级洁净室在线监测