中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净为 60 + 无菌灌装车间建模块化洁净室,灌装合格率提升至 99.9%,减少物料浪费!苏州百万级洁净室检测标准对照表

中源绿净依托物联网技术构建集群联动架构,其 FFU 与洁净度联动系统支持 500 台以上 FFU 按区域分组联动,可根据洁净室布局、生产工序划分多个联动集群,每个集群响应区域内洁净度变化,同时集群间可实现协同调度,避一区域调节对整体环境的影响。系统平台可直观展示各集群 FFU 运行状态与洁净度数据,支持集群参数统一配置与单独调整,满足差异化管理需求。在大型半导体产业园,可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节划分联动集群,生产集群采用高频监测与快速调节,辅助区域集群采用节能联动模式;在综合性医疗洁净区,可按手术室、ICU、实验室等分组,不同集群适配不同洁净等级的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多区域生产车间、产业园区等,系统集群联动响应时间小于 5 秒,支持集群间数据共享,当某一集群洁净度异常时,相邻集群可提前预警并调整运行状态,形成防护屏障,同时具备负载均衡功能,避免多台 FFU 同时高速运行导致的能耗峰值,实现管控效果与节能目标的平衡。百级洁净室在线监测中源绿净为 20 + 纳米涂层车间打造模块化洁净室,涂层均匀度提升 20%,产品性能更稳定!

中源绿净的洁净室环境监测系统,支持操作日志一键导出功能,可将所有用户对系统的操作记录(如参数修改、设备控制、数据查询)导出为规范文件,便于内部管理审计、合规检查与操作追溯,避免因操作不当导致的环境监测异常。系统的操作日志记录内容包括操作时间、操作人(账号名称)、操作类型(如 “修改采样间隔”“调整预警阈值”“导出数据”“重启设备”)、操作内容(修改前 / 后参数、操作结果)、操作 IP 地址,确保每一次操作都可追溯到个人与终端。导出格式支持 Excel、PDF、CSV 三种常用格式,导出时可选择任意时间段(如近 1 天、近 7 天、自定义日期范围),同时支持按操作人、操作类型筛选日志,减少无效信息。
中源绿净针对局部管控需求优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现单区域联动,通过在关键工位、设备周边部署监测点与 FFU,形成 “点对点” 管控单元,对该区域洁净度变化做出响应,避免整体调节导致的资源浪费。系统支持单区域参数配置,可根据不同区域的洁净要求、生产特性,设定专属的联动阈值、风速调节范围、响应速度等参数。在芯片测试车间的探针测试工位,周边 FFU 可根据该工位洁净度数据调节,避免对其他区域造成影响;在生物实验室的培养箱周边,单区域联动可维持局部高洁净环境,保障实验样本不受污染。适用场景包括精密制造工位、生产区域、实验室关键区域等,单区域联动响应精度达 ±0.01m/s 风速调节,监测点与 FFU 的距离可灵活调整(0.5-5 米),适配不同工位布局,同时支持单区域联动状态显示,管理人员可快速掌握各关键区域的管控情况,局部异常时不影响整体生产,提升管控的性与灵活性。中源绿净为 25 + 血液制品车间建模块化洁净室,符合 GMP 附录要求,产品安全性提升!

中源绿净针对电子元器件制造特性,其 FFU 与洁净度联动系统采用分布式联动架构,可根据车间布局、生产工序合理部署 FFU 与监测点,实现从元器件焊接、封装、测试到成品仓储的全流程覆盖,支持近距离监测生产线关键工位,捕捉局部区域的微粒污染并联动周边 FFU。系统支持多终端同步工作,数据实时汇总至平台,可按工位、工序、时间段等维度分析微粒浓度变化与 FFU 联动效果,帮助管理人员找出污染源头。在电子元器件焊接车间,焊接过程中产生的烟雾与微粒可能导致元器件短路,系统可实时预警并联动 FFU 提速;在芯片测试车间,测试区域的微粒可能影响测试探针与芯片的接触,近距离监测与联动可确保测试环境洁净。适用场景包括电阻电容生产车间、芯片制造车间、电子组装车间等,系统支持与电子工厂的质量管理系统对接,实现联动数据与产品批次的关联记录,便于质量追溯,FFU 联动终端体积小巧,可灵活安装在生产线旁,不占用过多空间。中源绿净模块化洁净室,空调系统节能率达 25%,为 20 + 企业实现绿色低碳生产!百级洁净室在线监测系统
中源绿净的模块化洁净室,消防系统联动响应时间≤10 秒,为 55 + 企业提升安全保障!苏州百万级洁净室检测标准对照表
中源绿净智能洁净室物联网平台,构建了 “异常报警 - 原因追溯 - 处理执行 - 效果验证” 的洁净度异常事件闭环管理流程,平台可自动记录异常事件从触发到解决的全流程数据,事件处理完成率统计精度达 100%,处理时效较传统人工管理提升 40% 以上。在药厂生产中,洁净度异常事件若处理不及时或流程不规范,可能导致问题重复出现 —— 某药厂曾因洁净度超标事件未彻底追溯根源,1 个月内同一车间连续发生 3 次类似问题,造成 2 批次药品返工。该平台在异常事件触发后,会自动关联该区域历史监测数据(近 72 小时粒子浓度、温湿度变化)、生产活动记录(物料转运、设备维护时间),为管理人员提供原因排查方向,例如当某制粒间粒子浓度超标时,平台提示可能与 2 小时前的设备清洁操作相关。管理人员处理完成后,需在平台上传处理方案(如重新清洁设备、更换滤网)与验证数据(处理后 1 小时内的洁净度监测结果),平台生成闭环管理报告苏州百万级洁净室检测标准对照表